[实用新型]二极管元件快速装填吸盘有效
| 申请号: | 202123042436.1 | 申请日: | 2021-12-03 |
| 公开(公告)号: | CN216597546U | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
| 发明(设计)人: | 汪良恩;杨华;朱京江 | 申请(专利权)人: | 安徽安美半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京久诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11542 | 代理人: | 齐葵 |
| 地址: | 247100 安徽省池州市经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 二极管 元件 快速 装填 吸盘 | ||
1.一种二极管元件快速装填吸盘,其特征在于,所述装填吸盘的顶面开设有向下延伸的工作槽(10);
所述工作槽(10)的底面开设有若干凹孔(11),所述凹孔(11)与真空机连通;
所述工作槽(10)的一侧内壁开设有向外延伸的存料槽(12)。
2.如权利要求1所述的二极管元件快速装填吸盘,其特征在于,所述装填吸盘内开设有负压腔(20),所述负压腔(20)与所有凹孔(11)连通。
3.如权利要求2所述的二极管元件快速装填吸盘,其特征在于,所述装填吸盘的侧壁开设有气嘴孔(30),所述气嘴孔(30)的一端与负压腔(20)连通,另一端与真空机连通。
4.如权利要求1所述的二极管元件快速装填吸盘,其特征在于,所述工作槽(10)内设置有若干定位销(40),所述定位销(40)与石墨舟上设置的定位孔配合定位。
5.如权利要求1~4任一所述的二极管元件快速装填吸盘,其特征在于,所述装填吸盘的尖角处倒圆角。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





