[实用新型]用于LED芯片薄膜生长的集成设备

权利要求书

1.用于LED芯片薄膜生长的集成设备，其特征在于，包括：

工艺腔（1），所述工艺腔（1）的内部设置有分气板（2），所述分气板（2）连接工艺腔（1）外部的X路进气管（12），Y路进气管（11），Z路进气管（10）；

缓冲组件，所述缓冲组件设置在工艺腔（1）的其中一端，所述缓冲组件包括缓冲腔（5），所述缓冲腔（5）的内部设置有多个卡匣（3），所述缓冲腔（5）的内部设置有机械手（4），所述缓冲腔（5）的外壁设置有真空泵（7）；

支撑板（6），所述支撑板（6）的其中一端设置有伺服电机（9）。

2.根据权利要求1所述的用于LED芯片薄膜生长的集成设备，其特征在于：所述工艺腔（1）与缓冲腔（5）之间设置有传输门（8），所述分气板（2）表面设置有均匀的孔，用于将反应物均匀性的通入工艺腔（1）。

3.用于LED芯片薄膜生长的集成设备，其特征在于，包括：

工艺腔（1），所述工艺腔（1）的内部设置有分气板（2），所述分气板（2）连接工艺腔（1）外部的X路进气管（12），Y路进气管（11），Z路进气管（10），工艺腔（1）内设置多个卡匣（3），工艺腔（1）内壁设置有加热丝（14），工艺腔（1）的内部设置有抽气均流板（13），抽气均流板（13）连接工艺腔（1）外部的真空泵。

4.根据权利要求1或3所述的用于LED芯片薄膜生长的集成设备，其特征在于：所述工艺腔（1）的外部设置有气体输入箱体（20），所述工艺腔（1）的外部设置有铝源输入箱体（21），所述工艺腔（1）的外部设置有水蒸汽输入箱体（22）。

5.根据权利要求1或3所述的用于LED芯片薄膜生长的集成设备，其特征在于：所述X路进气管（12）的其中一端设置硅源输入箱体（16），另一端的一支路通过脉冲气动隔膜阀（15）连接工艺腔（1）的分气板（2），另一支路通过脉冲气动隔膜阀（15）连接真空泵的前端管道，所述Y路进气管（11）的其中一端设置铝源输入箱体（21），另一端的一支路通过脉冲气动隔膜阀（15）连接工艺腔（1）的分气板（2），另一支路通过脉冲气动隔膜阀（15）连接真空泵的前端管道，所述Z路进气管（10）的其中一端连接气体输入箱体（20）和水蒸汽输入箱体（22），另一端的一支路通过脉冲气动隔膜阀（15）连接工艺腔（1）的分气板（2），另一支路通过脉冲气动隔膜阀（15）连接真空泵的前端管道。