[实用新型]一种红外测温长波滤光片

说明书

本实用新型公开了一种红外测温长波滤光片，该滤光片是以锗片为基板，锗(Ge)和硫化锌(ZnS)为膜层材料，采用高真空加热条件下用物理气相沉积方式加以离子源辅助镀膜方法的制备；其一面采用长波通膜系结构，另一面配合高透过率增透膜系，具备优异的信噪比可很好的抑制干扰；该滤光片是红外测温仪的核心部件之一，适用于批量生产，产品光学性能和物理强度能很好的满足实际使用要求，广泛应用于医学诊断、食品加工等领域。

技术领域

本实用新型涉及滤光片技术领域，特别涉及一种红外测温长波滤光片。

背景技术

随着科学技术的发展,传统的接触式测温方式已不能满足现代一些领域的测温需求,对非接触式、远距离测温技术需求越来越大。在这种温度测量技术中红外温度传感器的选择是非常重要的,而且不仅在点温度测量中要使用红外测温传感器,大面积温度测量也可以使用红外温度传感器.采用红外温度传感器这种温度测量技术,它具有温度分辨率高、响应速度快、不扰动被测目标温度分布场、测量精度高和稳定性好的优点。

红外测温长波滤光片作为红外温度传感器的核心部件，在很长时间里产量较低,大部分由国外采购。通过本专利的设计和制造技术生产的红外测温长波滤光片在光谱透过率、波长定位精度和产能效率等都可以与国外器件比拟，能很好满足市场相关的需求。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种红外测温长波滤光片。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种红外测温长波滤光片，包括：

采用直径约为25mm，厚度约2mm的锗片作基板，表面光洁度优于40/20；

镀膜材料选择锗Ge和硫化锌ZnS，在基板两侧表面上分别沉积多层干涉薄膜；

主膜系采用带通膜系结构，配高透过率增透膜系结构，增透膜系设计采用Sub|HLHLHLHLHLHL|Air；长波带通膜系设计采用以下结构：

Sub|a(0.5HL0.5H)^x+b(0.5HL0.5H)^x…+c(0.5LH0.5L)^x…|Air；膜系中符号含义分别为：Sub为基板、Air为空气、H为λ/4锗膜层、L为λ/4硫化锌膜层、λ＝2000nm、结构中a、b、c等为膜堆的厚度系数、结构中的指数x是膜堆累计的周期数。

进一步优选为，每个通道的带外抑制范围为0.3μm～7μm，带外抑制率≤0.1％。

其中，涉及的蒸发工艺条件：

在高真空(真空度≤10-3Pa)环境下进行130℃的加热烘烤，采用物理气相沉积方式加以离子源辅助镀膜。

锗和硫化锌均采用电子枪蒸发，蒸发速率控制在5nm/S以内。

综上所述，本实用新型对比于现有技术的有益效果为：

1、滤光片到达优秀的技术指标：波形矩形度好，工作谱段内透过率超过90％、带外抑制深度小于0.1％，波长定位精度小于0.1μm，从而可将背景干扰信号极好的抑制，获得优异的信噪比。

2、本申请内容滤光片工艺稳定成熟，已形成批量生产，性能可靠，能很好满足红外温度传感器的需求。

3、本申请内容滤光片在波长定位精度、带内透过率和带外抑制率、以及价格等方面，相对国外同类产品均有优势。

附图说明

图1为实施例的实测曲线图。

具体实施方式

以下结合附图对实用新型作进一步详细说明。

一种红外测温长波滤光片，包括：