[实用新型]新型的流量传感器芯片

说明书

本实用新型公开了一种新型的流量传感器芯片，包含：加热部件、上游部件、下游部件、隔离薄膜件和传感器基体；加热部件连接至隔离薄膜件；上游部件包含靠近加热部件的热端和远离加热部件的冷端；下游部件包含靠近加热部件的热端和远离加热部件的冷端；气流按顺序流经上游部件的上表面、加热部件的上表面和下游部件的上表面；隔离薄膜件上设有一用于连通隔离薄膜件上方和下方以平衡隔离薄膜件上方和下方的气压的通孔。本实用新型的新型的流量传感器芯片，在隔离薄膜件上设置了通孔，可以贯通隔离薄膜件上下方气压，防止隔离薄膜件长时间处于压力状态，起到平衡隔离薄膜件下方空腔气体与上方气体的气压的作用，从而增加传感器芯片的使用寿命。

技术领域

本实用新型属于流量传感器技术领域，具体涉及一种新型的流量传感器芯片。

背景技术

目前流量传感器广泛应用于石油天然气、汽车发动机以及医疗设备中流量的检测。现有的一些流量传感器的结构中，有时需要将传感器处于一个悬空膜上，而薄膜易受被测流体压力、温度等参数的影响，使传感器芯片薄膜的上下方气压失衡，从而造成薄膜破裂或是大大降低了芯片的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型提供了一种新型的流量传感器芯片，用于解决上述提到的技术问题，具体采用如下的技术方案：

一种新型的流量传感器芯片，包含：

加热部件，用于产生热量；

上游部件，位于加热部件的上游，且与加热部件间隔设置；

下游部件，位于加热部件的下游，且与加热部件间隔设置；

隔离薄膜件，位于加热部件的下方用于隔绝热量；

并支撑加热部件、上游部件的至少一部分和下游部件的至少一部分；

传感器基体，连接至隔离薄膜件且位于隔离薄膜件的两侧；

加热部件连接至隔离薄膜件；

上游部件包含靠近加热部件的热端和远离加热部件的冷端，上游部件的热端连接至隔离薄膜件且位于隔离薄膜件的上方，上游部件的冷端连接至传感器基体且位于传感器基体的上方；

下游部件包含靠近加热部件的热端和远离加热部件的冷端，下游部件的热端连接至传感器基体且位于传感器基体的上方，下游部件的冷端连接至传感器基体且位于传感器基体的上方；

被检测的气流按顺序流经上游部件的上表面、加热部件的上表面和下游部件的上表面；

隔离薄膜件上设有一用于连通隔离薄膜件上方和下方以平衡隔离薄膜件上方和下方的气压的通孔。

进一步地，通孔位于隔离薄膜件的边缘。

进一步地，通孔的长度为隔离薄膜件的总长的0.05％至5％。

进一步地，上游部件距离隔离薄膜件的距离和下游部件距离隔离薄膜件的距离相等。

进一步地，上游部件与隔离薄膜件接触的部分的长度大于其与传感器基体接触的部分的长度；

下游部件与隔离薄膜件接触的部分的长度大于其与传感器基体接触的部分的长度。

进一步地，上游部件的与隔离薄膜件接触的部分的长度和下游部件与隔离薄膜件接触的部分的长度相等；

上游部件的与传感器基体接触的部分的长度和下游部件与传感器基体接触的部分的长度相等。

进一步地，加热部件的材料为导电材料。

进一步地，上游部件的材料为掺杂半导体、金属或金属化合物中的一种；

下游部件的材料为金属或金属化合物中的一种。