[实用新型]一种用于防止提前取货治具有效
| 申请号: | 202122987461.0 | 申请日: | 2021-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN216354088U | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
| 发明(设计)人: | 朱军;龚胜利 | 申请(专利权)人: | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司: | 合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙) 34165 | 代理人: | 汪守勇 |
| 地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 防止 提前 取货治具 | ||
1.一种用于防止提前取货治具,其特征在于,包括:
用于晶圆盒的开合及晶圆位置扫描的扫描设备和设置于所述扫描设备上用于保护运送圆晶的圆晶传送盒;
两个把手,两个所述把手分别固定于所述圆晶传送盒的两侧;
防呆冶具,所述防呆冶具固定于所述扫描设备的一侧,所述防呆冶具包括固定板,所述固定板的一侧固定连接有第一防呆板和第二防呆板,所述防呆冶具共设置有两个,两个所述防呆冶具分别设置于所述圆晶传送盒的两侧用于所述把手的遮挡。
2.根据权利要求1所述的用于防止提前取货治具,其特征在于,所述固定板上开设有两个腰孔,所述腰孔上设置有用于将穿过所述腰孔将所述固定板固定到所述扫描设备上的固定销。
3.根据权利要求2所述的用于防止提前取货治具,其特征在于,所述第一防呆板的一端和所述第二防呆板的一侧固定连接,所述第一防呆板和所述第二防呆板之间的夹角为63°。
4.根据权利要求3所述的用于防止提前取货治具,其特征在于,所述固定板的高度为670mm,宽度为50mm,并且固定板的厚度为2mm,所述第一防呆板和所述第二防呆板的厚度为25mm。
5.根据权利要求2所述的用于防止提前取货治具,其特征在于,所述腰孔的半径为6.5mm,并且腰孔的圆心位置到所述固定板的下边距为15mm,所述固定板上的两个所述腰孔对称设置。
6.根据权利要求1所述的用于防止提前取货治具,其特征在于,还包括转动组件,所述组件设置于所述固定板的一侧,所述转动组件包括两个固定块,两个所述固定块之间转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆上螺纹连接有升降滑板,所述固定块固定于所述固定板的一侧。
7.根据权利要求6所述的用于防止提前取货治具,其特征在于,所述第一防呆板转动连接于所述固定板的一侧,所述第二防呆板转动连接于所述升降滑板的一侧,所述第一防呆板的一端和所述第二防呆板的一端转动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





