[实用新型]超高温真空烤箱

说明书

本实用新型公开一种超高温真空烤箱，该超高温真空烤箱具有箱体及箱门；还包括：设置于所述箱门上的密封圈；冷却管，所述冷却管嵌入所述箱门内，用于通过冷却剂在所述冷却管中流动以使其冷却；散热片，所述散热片设置于所述冷却管与所述密封圈之间，用于将所述密封圈的热量导入所述冷却管以使所述密封圈冷却。本实用新型提供的超高温真空烤箱可以使密封圈温度降低，从而可以使得超高温真空烤箱在镀膜过程中的升至足够温度进行镀膜，并可避免因高温而造成密封圈融化。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种超高温真空烤箱。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，其原理是通过膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶，传统的超高温真空烤箱其箱门上都具有密封圈将其密封以进行真空镀膜工作，但由于密封圈在超过一定温度的状态下会融化，使得其镀膜的温度不能够达到要求，发明人发现，现有技术中的超高温真空烤箱均未针对密封圈降温提供解决方案。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种超高温真空烤箱，所述超高温真空烤箱具有箱体及箱门；还包括：

设置于所述箱门上的密封圈；

冷却管，所述冷却管嵌入所述箱门内，用于通过冷却剂在所述冷却管中流动以使其冷却；

散热片，所述散热片设置于所述冷却管与所述密封圈之间，用于将所述密封圈的热量导入所述冷却管以使所述密封圈冷却。

优选地，根据本实用新型的一个实施例，所述冷却管设有与其相连通的输入口和输出口，所述冷却管经由所述输入口和所述输出口与外部冷却剂源相连以组成循环冷却通路。

优选地，根据本实用新型的一个实施例，所述冷却管形成为S型管路，所述输入口和所述输出口位于所述S型管路两端且延伸至所述箱门外。

优选地，根据本实用新型的一个实施例，所述冷却管沿所述箱门的竖直方向平行布设。

优选地，根据本实用新型的一个实施例，所述冷却管、散热片及密封圈之间均以耐高温粘接剂相连。

优选地，根据本实用新型的一个实施例，所述散热片与所述密封圈环形布设于所述箱门靠近所述箱体的一侧。

优选地，根据本实用新型的一个实施例，所述冷却剂为水、乙二醇或丙二醇。

优选地，根据本实用新型的一个实施例，所述冷却管与所述散热片均为金属材质。

本实用新型提供的超高温真空烤箱具有的冷却管嵌入箱门内，冷却管可以通过冷却剂在冷却管中流动以使其冷却，设置于箱门上的密封圈用于密封箱体，箱体内的热量会传导至密封圈上，因此，设置于冷却管和密封圈之间的散热片可以将密封圈的热量导入冷却管，以使密封圈温度降低，从而可以使得超高温真空烤箱在镀膜过程中的升至足够温度进行镀膜，并可避免因高温而造成密封圈融化。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中提供的超高温真空烤箱的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中提供的箱门的结构分解图。

附图标号说明：