[实用新型]一种三氯氢硅存储装置

权利要求书

1.一种三氯氢硅存储装置，包括罐体，其特征在于：所述罐体上设有进料管和出料管，所述进料管上连接有伸缩组件，所述伸缩组件包括下料管、螺纹杆、导向杆，所述下料管通过波纹软管与进料管连接，下料管上设有连接环，所述连接环上设有内螺纹孔和导向孔，所述螺纹杆转动连接于罐体内且连接有伸缩电机，螺纹杆与内螺纹孔螺纹连接，所述导向杆固定于罐体内，导向杆与导向孔滑动配合。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅存储装置，其特征在于：罐体内平行设有若干个隔板，所述隔板上设有贯穿其厚度的通孔，隔板的底部设有连通口。

3.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅存储装置，其特征在于：罐体外设有夹套，隔板上设有空腔，所述空腔设有进口和出口，所述进口和出口均与夹套连通。

4.根据权利要求3所述的一种三氯氢硅存储装置，其特征在于：所述夹套底部设有介质进口管，顶部设有介质出口管。

5.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅存储装置，其特征在于：还包括气体缓冲罐，所述罐体通过排气管和进气管与气体缓冲罐连通，所述排气管上设有排气阀和排气风机，所述进气管上设有进气阀和进气风机。