[实用新型]一种复投装料时使用的除尘装置有效

专利信息
申请号: 202122976430.5 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN217342334U 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 沙志强;娄中士;周宏邦;李鹏飞;袁长宏;田旭东;贾海洋;王淼;闫鹏飞;张净源 申请(专利权)人: 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
主分类号: B07B7/01 分类号: B07B7/01
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 装料 使用 除尘 装置
【说明书】:

实用新型提供一种复投装料时使用的除尘装置,包括:除尘过滤装置和抽吸装置,所述除尘过滤装置设置于复投筒的上方,且所述除尘过滤装置的一端深入所述复投筒中,所述除尘过滤装置的另一端通过滤管连接于所述抽吸装置,通过所述抽吸装置抽取向所述复投筒投料过程中经所述除尘过滤装置过滤后的粉尘。本实用新型的有益效果是在复投桶填料处增加吸尘过滤装置,通过泵产生吸力将细小硅粉颗粒由滤网过滤后吸入滤罐中,降低筛料不完全所遗留的硅粉和多晶硅料在倒入复投桶时新产生的硅粉及小颗粒,去除硅料中的硅粉,提升硅料洁净度,为后续直拉单晶硅成晶率奠定基础,提高单晶成晶率,增强单晶品质。

技术领域

本实用新型属于直拉单晶硅所用配件技术领域,尤其是涉及一种复投装料时使用的除尘装置。

背景技术

目前在直拉单晶硅棒的生产中,为了控制生产成本,通常采用多次复投的方式进行拉制单晶,在复投过程中,原料中的硅粉容易发生漂浮,硅粉易贴敷在单晶炉中并污染单晶炉室,硅粉在遇高温时会变成颗粒与熔体硅一起混合,进而造成单晶生长失败,细小的粉末料对单晶成晶率有极大的影响,因此原料的预处理在拉晶工序中不可或缺的一步。目前去除粉末料是将硅料进行网筛作业,筛料过程不能充分将多晶硅细小颗粒完全去除,另外装料时多晶硅料碰撞会产生新的细小颗粒,这些粉尘可能造成对热场的损坏和影响单晶品质,降低单晶成晶率。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种复投装料时使用的除尘装置,尤其适合复投过程中硅粉粉末颗粒的去除,提高单晶品质。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种复投装料时使用的除尘装置,包括:除尘过滤装置和抽吸装置,所述除尘过滤装置设置于复投筒的上方,且所述除尘过滤装置的一端深入所述复投筒中,所述除尘过滤装置的另一端通过滤管连接于所述抽吸装置,通过所述抽吸装置抽取向所述复投筒投料过程中经所述除尘过滤装置过滤后的粉尘。

进一步的,所述除尘过滤装置设置于所述复投筒上方的进料口的对侧。

进一步的,所述除尘过滤装置深入所述复投筒的一端为伸入端,所述伸入端处倾斜设置有滤网,用于过滤分离复投多晶硅料中的粉尘颗粒。

进一步的,所述滤网朝向所述进料口倾斜设置。

进一步的,所述除尘过滤装置还包括凸出端,所述凸出端置于所述复投筒的上方,所述凸出端远离所述伸入端的一侧通过接口连接于所述滤管。

进一步的,所述凸出端与所述伸入端连接处的所述凸出端的外径大于所述伸入端的外径,所述除尘过滤装置通过所述凸出端与所述伸入端连接处的外沿设置在所述复投筒的上方。

进一步的,所述滤网的规格尺寸为5mm*5mm。

进一步的,所述抽吸装置的抽吸风速为1-3m/s。

进一步的,所述抽吸装置远离所述滤网的一侧设置有滤罐,用于收集经所述除尘过滤装置过滤后的所述粉尘颗粒

由于采用上述技术方案,具有以下优点:

本除尘装置结构简单、设计合理,可以自动过滤和吸出硅粉颗粒,而且操作便捷,加工成本低、生产效率高。

在复投桶填料处增加一个吸尘过滤装置,通过泵产生吸力将细小硅粉颗粒由滤网过滤后吸入滤罐中,降低筛料不完全所遗留的硅粉和多晶硅料在倒入复投桶时新产生的硅粉及小颗粒,去除硅料中的硅粉,提升硅料洁净度,为后续直拉单晶硅成晶率奠定基础,提高单晶成晶率,增强单晶品质。

有效过滤筛料过程中残留粉尘和装料时新产生的硅粉,增强复投洁净度,减少粉尘进入单晶炉内,提高单晶品质,改善拉晶环境。

在吸管与滤罐之间放置除尘泵,硅粉尘在泵的吸力作用下抽进滤罐,降低装料时新产生的粉尘,并清理筛料不完全所产生的粉尘同时提高装料间洁净度。

附图说明

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