[实用新型]红外探测器有效
| 申请号： | 202122968961.X | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN216283968U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 张彦秀;王乾;梁维佳 | 申请（专利权）人： | 北京燕东微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/04 | 分类号： | G01J5/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 红外探测器 | ||
1.一种红外探测器，其特征在于，包括：
晶圆，包括红外探测单元；以及
封装盖，包括相连的顶部与侧部，所述顶部与所述侧部构成空腔，所述侧部包括至少一个环形连通的沟槽，所述沟槽自所述侧部的自由端向所述顶部的方向延伸，所述侧部的自由端与所述晶圆相连，以使所述红外探测单元置于所述空腔内，
其中，所述沟槽内设置有第一吸气剂层。
2.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，还包括：
第一键合层，位于所述侧部的自由端；以及
第二键合层，位于所述晶圆的表面，围绕所述红外探测单元，
其中，所述第一键合层与所述第二键合层键合连接以将所述侧部的自由端与所述晶圆相连。
3.根据权利要求2所述的红外探测器，其特征在于，所述沟槽的数量为一个，且为圆环形沟槽。
4.根据权利要求3所述的红外探测器，其特征在于，所述圆环形沟槽将所述侧部的自由端与所述晶圆的接触面分为内环与外环，所述内环与所述外环上均设置所述第一键合层。
5.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述空腔内设有第二吸气剂层。
6.根据权利要求5所述的红外探测器，其特征在于，所述第一吸气剂层和/或所述第二吸气剂层包括钛、锆、钽、钍、锆铝16合金，锆石墨合金、锆镍合金、锆铁钒合金中的一种。
7.根据权利要求1-6任一项所述的红外探测器，其特征在于，所述沟槽与所述空腔之间的气压差小于所述封装盖的外部环境与所述空腔之间的气压差。
8.根据权利要求1-6任一项所述的红外探测器，其特征在于，所述封装盖为硅封装盖。
9.根据权利要求1-6任一项所述的红外探测器，其特征在于，所述沟槽内为真空环境。
10.根据权利要求1-6任一项所述的红外探测器，其特征在于，所述空腔内为真空环境。
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