[实用新型]一种基于碲纳米线垂直结构的热电-压电器件有效

专利信息
申请号: 202122950058.0 申请日: 2021-11-29
公开(公告)号: CN217035666U 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 邰凯平;向征;赵洋;喻海龙;胡振清;徐明;聂鹏程;何娟 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所
主分类号: H01L35/16 分类号: H01L35/16;H01L41/193;H01L41/047;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 代理人: 陈曦
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 纳米 垂直 结构 热电 压电 器件
【权利要求书】:

1.一种基于碲纳米线垂直结构的热电-压电器件,其特征在于,整体为上下垂直的三明治结构,从下往上为:柔性导电基底、多根碲纳米线、PDMS层以及柔性电极板,多根碲纳米线垂直生长在柔性导电基底上,在所述柔性导电基底上滴定旋涂形成PDMS层,PDMS层部分包覆固定碲纳米线,多根碲纳米线的顶部连接柔性电极板。

2.如权利要求1所述的基于碲纳米线垂直结构的热电-压电器件,其特征在于,在柔性导电基底和柔性电极板上都设有电极线引出端。

3.如权利要求1所述的基于碲纳米线垂直结构的热电-压电器件,其特征在于,碲纳米线的长度为4-10μm。

4.如权利要求1所述的基于碲纳米线垂直结构的热电-压电器件,其特征在于,PDMS层的厚度为2.5-7μm。

5.如权利要求1所述的基于碲纳米线垂直结构的热电-压电器件,其特征在于,所述柔性导电基底和柔性电极板都由PET薄膜和ITO导电膜层构成。

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