[实用新型]一种碳化硅MOS加工用的工装夹具

权利要求书

1.一种碳化硅MOS加工用的工装夹具，包括底座（1）和夹持组件（7），其特征在于，所述底座（1）外部上方设置有夹持板（4），用于快速夹持的所述夹持组件（7）设置于夹持板（4）表面，所述夹持组件（7）包括夹持块（701）、第一连接块（702）、推块（703）、伸缩套（704）、伸缩板（705）、伸缩弹簧（706）和滑动块（707），所述夹持块（701）上方连接有第一连接块（702），且第一连接块（702）上方连接有推块（703），所述夹持块（701）左侧连接有伸缩套（704），且伸缩套（704）左侧连接有伸缩板（705），所述伸缩板（705）外部安装有伸缩弹簧（706），所述伸缩板（705）左侧连接有滑动块（707），所述伸缩板（705）的外壁与伸缩套（704）的内壁相吻合。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅MOS加工用的工装夹具，其特征在于，所述底座（1）两侧均设置有安装板（2），且安装板（2）上方设置有调节角度的调节组件（3）。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅MOS加工用的工装夹具，其特征在于，所述调节组件（3）中部连接有夹持板（4），且夹持板（4）上方表面开设有滑槽（5），所述滑槽（5）上方安装有用于固定材料的固定组件（6）。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅MOS加工用的工装夹具，其特征在于，所述调节组件（3）包括连接杆（301）、石墨轴套（302）和转动轴（303），所述连接杆（301）上方连接有石墨轴套（302），且石墨轴套（302）内部套设有转动轴（303）。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅MOS加工用的工装夹具，其特征在于，所述调节组件（3）还包括螺纹槽（304）和第一固定螺栓（305），所述转动轴（303）上方开设有螺纹槽（304），且螺纹槽（304）内部安装有第一固定螺栓（305）。

6.根据权利要求3所述的一种碳化硅MOS加工用的工装夹具，其特征在于，所述固定组件（6）包括调节块（601）、螺纹杆（602）、固定块（603），所述调节块（601）中心轴位置连接有螺纹杆（602），所述调节块（601）左侧设置有固定块（603）。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅MOS加工用的工装夹具，其特征在于，所述固定组件（6）还包括第二固定螺栓（604）、安装套（605）、安装块（606）和凹槽（607），所述固定块（603）通过第二固定螺栓（604）与夹持板（4）固定连接，所述滑动块（707）右侧设置有安装套（605），且安装套（605）通过安装块（606）与夹持板（4）固定连接，所述夹持板（4）上方表面开设有凹槽（607）。

8.根据权利要求6所述的一种碳化硅MOS加工用的工装夹具，其特征在于，所述调节块（601）、螺纹杆（602）与固定块（603）为同一水平线分布设置，且螺纹杆（602）以夹持板（4）的中轴线对称设置。