[实用新型]针卡针径维修辅助工具有效

专利信息
申请号: 202122916001.9 申请日: 2021-11-25
公开(公告)号: CN217305262U 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 魏晨晨;陈胜;江勇 申请(专利权)人: 苏州科阳半导体有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;B08B1/00
代理公司: 南京智造力知识产权代理有限公司 32382 代理人: 张明明
地址: 215143 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 针卡针径 维修 辅助工具
【说明书】:

实用新型提供了一种针卡针径维修辅助工具,属于探针卡维修技术领域。该维修辅助工具包括壳体、底座、探针和毛刷头,底座位于壳体内部,且底座相对壳体能转动,从而改变底座的倾斜度,调节放置在底座上的探针卡角度,避免维修针卡时碰触其它探针;探针通过固定部插入一连接杆中,固定部选用软材料,方便不同型号探针的更换;毛刷头可拆卸安装在连接杆一端,方便更换;该维修辅助工具还设有手肘垫、工具盒和支架,手肘垫用于支撑维修人员肘部,缓解手部疲劳;工具盒方便存放小型工具;支架用于放置连接杆,便于探针和毛刷头的放取。

技术领域

本实用新型属于探针卡维修技术领域,具体涉及一种针卡针径维修辅助工具。

背景技术

半导体产业主要由设计、晶圆制造、封装测试几部分组成。中测(Wafer test)是半导体后道封装测试的第一站,中测的目的是将硅片中不良的芯片挑选出来,所用到的设备有测试机(IC Tester)、探针卡(Probe Card)、探针台(Prober)以及测试机与探针卡之间的接口(Mechanical Interface);中测的关键点在探针卡和接口这两部分,这也是制约国内中测水平的难点所在。

探针卡探针的使用维护对测试成品率非常重要,做不好会引起接触不良,造成成品率下降,好产品变成不良品,并且,这一错误在后续的工艺中无法复查。

现有技术中,由于无法调节探针卡的角度,维修人员在维修针卡腐蚀针径时,易碰触到旁边探针,操作不方便;另外,无法调节线端接口,从而更换替换探针;且焊接时,由于长时间操作,维修人员手部疲劳,容易产生抖动。

实用新型内容

针对现有技术中存在不足,本实用新型提供了一种针卡针径维修辅助工具,方便调节探针卡的角度及替换探针,同时避免维修人员手部抖动的情况。

本实用新型是通过以下技术手段实现上述技术目的的。

一种针卡针径维修辅助工具,包括壳体、底座、探针和毛刷头;

所述底座位于壳体内部,且底座能相对壳体径向转动;

所述探针通过固定部插入一连接杆中,且探针与外部电源连接;

所述毛刷头可拆卸安装在另一连接杆的一端。

上述技术方案中,所述壳体的高度大于底座的高度,且底座上表面低于壳体上表面,底座底部高于壳体内壁设置的基准线。

进一步地,所述基准线为底座从水平面转到倾斜45°时的线。

进一步地,所述基准线位置处设有限位块。

上述技术方案,还包括设置在壳体上的支撑板,所述支撑板用于放置沿壳体径向抽拉的工具盒。

上述技术方案中,所述壳体上还设有用于放置探针和毛刷头的支架。

上述技术方案,还包括手肘垫。

上述技术方案中,所述壳体和底座的材料采用铁或合金或特氟龙。

上述技术方案中,所述连接杆为棒状或桶状。

上述技术方案中,所述固定部的材料采用泡沫。

本实用新型的有益效果为:

(1)本实用新型中壳体穿过螺栓将底座固定,使用时,通过旋松螺栓,可以改变底座的倾斜度,调节放置在底座上的探针卡角度,避免维修人员在维修针卡时碰触其它探针;

(2)本实用新型探针通过固定部插入连接杆中,固定部选用软材料,方便不同型号探针的更换;毛刷头可拆卸安装在连接杆一端,方便更换;

(3)本实用新型还配套有手肘垫,用于支撑维修人员肘部,缓解长时间维修导致的手部疲劳;

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