[实用新型]一种化学液含水量控制装置及补水系统有效
申请号: | 202122914788.5 | 申请日: | 2021-11-25 |
公开(公告)号: | CN217114319U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 屈文晶;董明 | 申请(专利权)人: | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙) 33277 | 代理人: | 邓爱民 |
地址: | 312000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 含水量 控制 装置 水系 | ||
1.一种化学液含水量控制装置,其特征在于:包括机械臂以及喷淋水槽,所述机械臂包括抓取机械手以及驱动抓取机械手上下运动的升降机构,喷淋水槽内设置喷水管,喷水管的出水端用于向抓取机械手喷淋水。
2.根据权利要求1所述的一种化学液含水量控制装置,其特征在于:所述喷水管的进水端与进水管连接,进水管上安装进水阀门。
3.根据权利要求2所述的一种化学液含水量控制装置,其特征在于:所述进水管的进水阀门至喷水管的进水端之间安装流量计。
4.根据权利要求2所述的一种化学液含水量控制装置,其特征在于:所述喷淋水槽的侧壁上安装光纤传感器,光纤传感器的触发信号用于控制进水阀门的开启。
5.根据权利要求4所述的一种化学液含水量控制装置,其特征在于:所述抓取机械手上安装用于检测抓取机械手下降位置的位置传感器,位置传感器的触发和光纤传感器的触发用于控制进水阀门的开启。
6.根据权利要求5所述的一种化学液含水量控制装置,其特征在于:所述位置传感器采用接近式传感器。
7.根据权利要求1所述的一种化学液含水量控制装置,其特征在于:所述机械臂还包括轨道、滑块以及水平驱动机构,抓取机械手通过滑块安装在轨道上,水平驱动机构带动滑块沿轨道水平移动。
8.根据权利要求1所述的一种化学液含水量控制装置,其特征在于:所述喷淋水槽底部设有排水口,排水口连接排水管。
9.一种化学液含水量补水系统,其特征在于:包括如权利要求1至8任一所述化学液含水量控制装置以及设置在喷淋水槽一侧的化学液工位槽,化学液含水量控制装置中的抓取机械手用于将喷淋水的晶圆转运至化学液工位槽内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造