[实用新型]一种碳化硅晶体平面打磨标记装置

权利要求书

1.一种碳化硅晶体平面打磨标记装置，包括支撑架和定位测量尺，碳化硅晶片固定于所述支撑架上，所述定位测量尺与所述支撑架的上部连接，其特征在于，所述定位测量尺包括升降杆、升降座、测量尺管和测量指示部，所述升降杆与所述支撑架限位垂直滑动连接且下部与所述升降座固定连接，所述升降座的底部设置有多个成圆周排列的所述测量尺管，每个所述测量尺管的中轴均与所述升降杆的中轴形成一定的角度，每个所述测量尺管沿轴线方向均设置有垂直向下的限位滑槽，所述测量指示部的上部限位滑动于所述限位滑槽内且底部与碳化硅晶片限位接触连接，所述升降杆、测量尺管和测量指示部配合构成晶片标记检测结构。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体平面打磨标记装置，其特征在于：所述支撑架包括底板、转动座、支架和阻尼管，所述转动座设置于所述底板的上端面且与所述底板转动连接，所述支架的底端与所述底板的上端面固定连接且另一端与所述阻尼管固定连接，所述升降杆与所述阻尼管限位阻尼连接。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体平面打磨标记装置，其特征在于：所述测量指示部包括从上到下依次连接的测量指针、限位滑块、弹簧伸缩杆和晶片定位片，所述限位滑块与所述限位滑槽限位滑动连接，所述晶片定位片为L形结构且与晶片的边缘配合限位接触连接。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体平面打磨标记装置，其特征在于：所述限位滑槽内还设置有滑槽弹簧，所述滑槽弹簧的一端与所述限位滑槽长轴的一端固定连接且另一端与所述限位滑块固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体平面打磨标记装置，其特征在于：所述限位滑槽的两侧还设置有高度测量尺和半径刻度尺，所述测量指针分别于所述高度测量尺和半径刻度尺配合构成晶片高度标识结构和晶片半径标识结构。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体平面打磨标记装置，其特征在于：所述高度测量尺和半径刻度尺的刻度值顺序相反，底板上设置有尺管限位槽，所述测量尺管的底部与所述尺管限位槽插接连接，所述晶片定位片与所述弹簧伸缩杆可拆卸连接。