[实用新型]一种用于晶体平面抛光的夹具工装有效
| 申请号: | 202122906069.9 | 申请日: | 2021-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN216098347U | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
| 发明(设计)人: | 马天祥;赵然;王锡铭;张敬辉;勾喜满;曹智;王怀利 | 申请(专利权)人: | 山东国宏中能科技发展有限公司 |
| 主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
| 代理公司: | 东营双桥专利代理有限责任公司 37107 | 代理人: | 宋风娥 |
| 地址: | 257200 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 晶体 平面 抛光 夹具 工装 | ||
本实用新型涉及晶体平面加工技术领域,具体公开了一种用于晶体平面抛光的夹具工装,包括底座和设于底座上方的定位座,所述定位座和底座之间设有万向接头和支撑机构;所述万向接头的上下两端分别与定位座和底座固定连接;所述支撑机构至少三组,并且间隔环绕万向接头排列,所述支撑机构包括丝杆和螺纹连接在丝杆顶部的套筒,所述丝杆的底部固定连接在底座的上端面,所述套筒的顶部支撑定位座的下端面;所述定位座的顶部设有开口槽,所述定位座上螺纹连接有一组水平贯穿进入开口槽的螺栓,所述螺栓至少为三根,并且间隔环绕排列,所述螺栓的头部转动连接有弧形定位片。本实用新型能够适配不同直径的晶体片,并且能够对晶体片的水平度进行调节。
技术领域
本实用新型涉及晶体平面加工技术领域,具体涉及一种用于晶体平面抛光的夹具工装。
背景技术
目前碳化硅被广泛应用于工业、国防、科研、民用等领域,越来越多的用作固体激光、红外窗口、半导体衬底片、发光二极管衬底片、精密耐磨轴承、3G手机面板、高档手表面等诸多产品的原材料。
目前,市场上对于碳化硅平面抛光均夹具固定,由于碳化硅片的直径尺寸不同,因此,每一尺寸的碳化硅就需要配备同对应尺寸的夹具,夹具通用性差的特点,导致了夹具的使用成本增高,并且有些夹具无法调节水平度,导致抛光的平面出现倾斜,因此发明人想设计一种通用性强,且能够调节晶体片水平的专用夹具。
发明内容
本实用新型的目的就是针对现有技术存在的缺陷,提供一种用于晶体平面抛光的夹具工装,其能够适配不同直径的晶体片,并且能够对晶体片的水平度进行调节。
本实用新型的技术方案是:
一种用于晶体平面抛光的夹具工装,包括底座和设于底座上方的定位座,所述定位座和底座之间设有万向接头和支撑机构;
所述万向接头的上下两端分别与定位座和底座固定连接;
所述支撑机构至少三组,并且间隔环绕万向接头排列,所述支撑机构包括丝杆和螺纹连接在丝杆顶部的套筒,所述丝杆的底部固定连接在底座的上端面,所述套筒的顶部支撑定位座的下端面;
所述定位座的顶部设有开口槽,所述定位座上螺纹连接有一组水平贯穿进入开口槽的螺栓,所述螺栓至少三根,并且间隔环绕排列,所述螺栓的头部转动连接有弧形定位片。
优选的,所述万向接头为十字万向节。
优选的,所述套筒的外壁上设有六边形定位凸台,所述套筒的顶部呈球形结构。
优选的,所述螺栓为四根,并且呈十字形排列。
优选的,所述支撑机构为四组,并且呈十字形排列。
优选的,所述弧形定位片为弹性材料制成。
优选的,弧形定位片为弹簧钢片,并且弹簧钢片的外周涂装有橡胶涂层。
优选的,所述定位座的顶部安装有气泡水准器。
本实用新型与现有技术相比较,具有以下优点:
本实用新型结构简单、合理,通过万向接头将定位座和底座连接,能够使定位座进行各个角度的扭动,再利用一组长度可调的支撑机构,能够对定位座和底座之间各方位的间距进行微调,从而便于将定位座进行调节水平。
通过一组弧形定位片,能够拼成近似圆形的夹持空间,从而能够对圆形的晶体片进行固定,通过调节螺栓的支撑距离,还能够对圆形夹持空间的尺寸进行调节,从而能够与不同直径的晶体片进行适配。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图;
图2为本实用新型的主视结构示意图;
图3为本实用新型的俯视结构示意图;
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