[实用新型]应力补偿电路及磁场感测系统

权利要求书

1.一种应力补偿电路，用于对磁场感测元件进行机械应力的补偿，其特征在于，包括电流发生器、第一参考电阻、第二参考电阻、电路输出端，以及相互并联的第一镜像支路和第二镜像支路；

所述电流发生器连接所述第一镜像支路，所述第一镜像支路依次通过所述第一参考电阻和所述第二参考电阻接地，所述第二镜像支路分别连接所述第二参考电阻未接地一端以及所述电路输出端。

2.根据权利要求1所述的应力补偿电路，其特征在于，所述第二镜像支路配置为，相对于所述第一镜像支路具有可调节的镜像比例系数；所述第一参考电阻和所述第二参考电阻配置为具有不同的压阻系数。

3.根据权利要求1所述的应力补偿电路，其特征在于，所述第一镜像支路和所述第二镜像支路分别包括第一P沟道场效应管和第二P沟道场效应管；

所述第一P沟道场效应管配置为源极连接工作电压、漏极连接所述第一参考电阻和所述电流发生器，且栅极连接漏极和所述第二P沟道场效应管的栅极；所述第二P沟道场效应管配置为源极连接所述工作电压，且漏极连接所述第二参考电阻未接地一端和所述电路输出端。

4.根据权利要求1所述的应力补偿电路，其特征在于，所述磁场感测元件中感测平均电流在第一平面内流动，所述第一参考电阻内部具有第一平均电流，所述第二参考电阻内部具有第二平均电流；所述第一平均电流和所述第二平均电流配置为，其中之一在所述第一平面内流动，且其中另一在垂直于所述第一平面的方向上流动。

5.根据权利要求1所述的应力补偿电路，其特征在于，所述电流发生器包括参考电压源、运算放大器和第一N沟道场效应管；所述运算放大器配置为正相输入端连接所述参考电压源、反相输入端连接所述第一参考电阻，且输出端连接所述第一N沟道场效应管的栅极；所述第一N沟道场效应管配置为源极连接所述第一参考电阻，且漏极连接所述第一镜像支路。

6.根据权利要求1所述的应力补偿电路，其特征在于，所述第一参考电阻和第二参考电阻分别配置为，包括电阻基板、电阻反应层、主电极、至少两个子电极和至少三个电阻掺杂区；所述电阻反应层设置于所述电阻基板内靠近第一表面一侧，所述主电极和所述子电极设置于所述第一表面上背离所述电阻反应层一侧，所述电阻掺杂区分别设置于所述电阻反应层中靠近所述主电极和所述子电极处；所述至少两个子电极配置为，设置于所述第一表面上相对所述主电极的不同位置处，且分别与所述电阻掺杂区、所述电阻反应层和所述主电极形成互成角度设置的至少两个子电阻。

7.根据权利要求6所述的应力补偿电路，其特征在于，所述第一参考电阻上所述主电极和相邻的所述子电极具有第一间距，所述第一参考电阻上所述电阻反应层具有第一厚度，所述第二参考电阻上所述主电极和相邻的所述子电极具有第二间距，所述第二参考电阻上所述电阻反应层具有第二厚度；

所述第一间距与所述第一厚度的比值，不等于所述第二间距与所述第二厚度的比值。

8.根据权利要求7所述的应力补偿电路，其特征在于，所述第一间距与所述第一厚度的比值，远小于所述第二间距与所述第二厚度的比值。

9.根据权利要求8所述的应力补偿电路，其特征在于，所述第一参考电阻上所述主电极的体积等于所有所述子电极的体积之和。

10.一种磁场感测系统，其特征在于，包括磁场感测元件，以及权利要求1-9任一项所述的应力补偿电路。