[实用新型]一种条形晶片用抛光装置

说明书

本实用新型公开了一种条形晶片用抛光装置，旨在保证条形晶片的抛光质量，其技术方案：一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片的夹具、用于对外设条形晶片进行抛光的抛光平台、用于向抛光平台加注抛光液的抛光液管，还包括一用于使外设条形晶片贴合抛光平台的第一驱动装置；所述夹具与抛光平台通过一第二驱动装置驱动可做直线往复的相对运动，属于晶片抛光技术领域。

技术领域

本实用新型属于晶片抛光技术领域，更具体而言，涉及一种条形晶片用抛光装置。

背景技术

晶片抛光，是晶片加工的其中一环工序；

抛光工序如发明专利公开号CN110014362A公开的一种晶片抛光装置所示，其包括：表面板，该表面板具有附连在表面板的上表面上的抛光垫；浆液喷嘴，该浆液喷嘴构成为向抛光垫注射浆液；至少一个抛光头部，该抛光头部构成为对晶片进行收容并且在表面板的上部旋转；换位件，该换位件构成为对抛光头部进行支承，从而在该至少一个上述抛光头部的上部与抛光头部相连接；以及颗粒抽吸部，该颗粒抽吸部联接至换位件并且构成为对在抛光晶片的期间产生的颗粒进行抽吸。

在上述方案中，其通过抛光头部固定收容晶片，表面板可以通过表面板转轴进行旋转，抛光头部可以在与抛光垫紧密接触的状态下通过头部转轴进行旋转。此时，由浆液喷嘴提供的浆液可以在向位于抛光头部上的晶片渗透的同时将晶片抛光成镜面抛光面。

现有技术中，抛光的晶片为圆形，抛光期间是晶片、抛光垫均转动。

其中，晶片抛光时的形状与在实际使用时的形状不一定是相同的，如铌酸锂晶片，其在实际使用时一般为条形，而其在抛光时则为圆形；

铌酸锂晶片的加工过程为；先将圆形晶片进行抛光，在抛光后再将圆形的晶片切割成条形。

上述的加工过程存在的缺陷在于：在抛光后再切割成条形，其会出现破坏晶片的抛光面、对晶片造成损伤等现象，影响晶片的生产质量。

为了保证晶片的生产质量，可以先将晶片切割成条形，再对条形晶片进行抛光；

而现有技术中，均是通过旋转的方式抛光圆形晶片的，暂无对条形晶片进行抛光的装置；

对于条形晶片的抛光，若通过上述以旋转为基础的方式进行抛光，在旋转抛光的过程中，由于形状的限制，条形晶片的转动会形成旋转刮液结构，同时抛光垫的旋转会产生离心力，所以两者叠加会将大部分的抛光液刮走，使得抛光液难以进入到晶片的中心，从而影响条形晶片的抛光质量。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种条形晶片用抛光装置，旨在保证条形晶片的抛光质量。

根据本实用新型的第一方面，提供了一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片的夹具、用于对外设条形晶片进行抛光的抛光平台、用于向抛光平台加注抛光液的抛光液管，还包括一用于使外设条形晶片贴合抛光平台的第一驱动装置；所述夹具与抛光平台通过一第二驱动装置驱动可做直线往复的相对运动。

本实用新型一个特定的实施例中，所述第一驱动装置用于驱动所述夹具升降使外设条形晶片与抛光平台分离或贴合，所述第二驱动装置用于驱动所述夹具做相对于所述抛光平台的直线往复运动。

本实用新型一个特定的实施例中，外设条形晶片的较长侧与运动方向平行。

本实用新型一个特定的实施例中，所述抛光液管与所述夹具同步运动。

本实用新型一个特定的实施例中，所述抛光液管邻近外设条形晶片的侧边布置。

本实用新型一个特定的实施例中，所述抛光液管为分别邻近外设条形晶片的2个较长侧布置的2个。

本实用新型一个特定的实施例中，还包括一陶瓷盘，多个外设条形晶片以可拆的方式固定在所述陶瓷盘上；所述夹具夹紧所述陶瓷盘；