[实用新型]一种多晶硅还原炉尾气冷却装置

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉尾气冷却装置，包括固定座(1)，所述固定座(1)的顶部固定安装有炉体(3)和处理箱(6)，其特征在于，所述炉体(3)的顶部密封连通有尾气管(4)，所述处理箱(6)的左侧内壁上固定安装有冷却箱(7)，且冷却箱(7)的底部内壁上固定安装有引导管(8)，所述引导管(8)的外侧固定套设有盘管(9)，且引导管(8)的内部和尾气管(4)的内部密封相连通，所述处理箱(6)的右侧内壁上固定安装有喷淋箱(13)，所述引导管(8)的底部延伸至冷却箱(7)的上方，且引导管(8)的右端和喷淋箱(13)的内部密封相连通，所述喷淋箱(13)的右侧内壁上固定安装有喷淋盘(14)，且喷淋盘(14)为中空设置，所述喷淋盘(14)的左端密封连通有多个高压喷头(15)，且喷淋盘(14)和盘管(9)的内部密封连通有同一个进水组件。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气冷却装置，其特征在于，所述进水组件包括冷水箱(10)和水泵(11)，且冷水箱(10)的右侧和处理箱(6)的右侧内壁固定安装，所述水泵(11)的右端和冷水箱(10)的左侧固定安装，且水泵(11)的输入端和冷水箱(10)的内部密封相连通，所述水泵(11)的输出端密封连通有冷水管(12)，所述冷水管(12)的内部与盘管(9)的内部和喷淋盘(14)的内部均密封相连通。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅还原炉尾气冷却装置，其特征在于，所述冷水箱(10)的顶部固定安装有收集箱(20)，且收集箱(20)的顶部内壁和右侧内壁分别固定安装有换热器(21)和蒸汽收集器(23)，所述换热器(21)的输出端和冷水箱(10)的内部密封相连通，所述换热器(21)的输入端密封连通有回流管(22)，且回流管(22)的顶部延伸至收集箱(20)的上方并和盘管(9)的内部密封相连通，所述回流管(22)的顶部密封连通有收集管(19)，且收集管(19)的顶部和喷淋箱(13)的内部密封相连通。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气冷却装置，其特征在于，所述喷淋箱(13)的顶部内壁和底部内壁上固定安装有同一个过滤网(17)，且喷淋箱(13)的顶部内壁和底部内壁上均固定安装有两个阻隔板(16)，所述喷淋箱(13)的底部内壁上固定安装有引流板(18)，且引流板(18)呈三角形设置，所述喷淋箱(13)的顶部内壁上密封连通有排管，且排管的顶部延伸至处理箱(6)的上方。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气冷却装置，其特征在于，所述尾气管(4)的顶部密封连通有U型管(5)，且U型管(5)的右端密封连通有横管，横管的右端延伸至冷却箱(7)的内部并和引导管(8)的内部密封相连通。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气冷却装置，其特征在于，所述固定座(1)的顶部固定安装有底盘(2)，且底盘(2)的顶部和炉体(3)的底部固定安装，所述底盘(2)位于处理箱(6)的左侧。