[实用新型]动热源式双轴微机械角速度传感器

权利要求书

1.一种动热源式双轴微机械角速度传感器，其特征在于，包括基底层、敏感层和盖板，其中，

所述敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器和两对热敏电阻；

定义所述敏感层上表面长度方向为X方向，宽度为Y方向，高度方向为Z向；两对所述热敏电阻的放置方向为X方向和Y方向，且每对热敏电阻相互平行，用于检测X轴和Y轴的角速度；

所述全方位振子加热器采用风火轮式敏感结构，其中心含有一个带圆形的质量块的中心轮轱，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；其下方是圆形的中间加热腔；

所述全方位振子加热器除了能沿着垂直于敏感层的z轴摆动外，也能沿着敏感层所在XOY平面内的任一方位角摆动；

所述全方位振子加热器的两端沿着Y方向覆盖对称的电极，形成可动电阻式热源；

所述热敏电阻含有检测X轴角速度的一对热敏电阻和检测Y轴角速度的一对热敏电阻，热敏电阻的下方是矩形的中间检测腔；

检测X轴角速度的一对热敏电阻沿Y轴方向对称放置，且与X轴方向垂直；检测Y轴角速度的一对热敏电阻沿X轴方向对称放置，且与Y轴方向垂直；

全方位振子加热器的通电方式为周期式交流电，产生交变激励电压；热敏电阻的通电方式为恒流电；

所述盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。

2.根据权利要求1所述的动热源式双轴微机械角速度传感器，其特征在于，所述盖板和基底层将中间加热腔和中间检测腔的气体介质与外界隔离，形成一个密封的工作系统；中间加热腔和中间检测腔高度与盖板中凹槽的深度为总的腔体高度z，300μm≤z≤1000μm。

3.根据权利要求1所述的动热源式双轴微机械角速度传感器，其特征在于，所述盖板的凹槽深度为盖板高度的2/3。

4.根据权利要求1所述的动热源式双轴微机械角速度传感器，其特征在于，所述全方位振子加热器和所述热敏电阻的高度为100nm至1000nm。

5.根据权利要求1所述的动热源式双轴微机械角速度传感器，其特征在于，所述加热器和所述热敏电阻的长度一致，均为整个敏感层宽度的1/6至1/5。

6.根据权利要求1所述的动热源式双轴微机械角速度传感器，其特征在于，所述加热器和热敏电阻均是由铬黏附层和铂层组成的金属层构成。