[实用新型]一种平衡背压压差的阀头结构

说明书

本实用新型涉及一种平衡背压压差的阀头结构，包括阀座支撑、复位弹簧、密封垫、膜片、阀座、按钮，所述阀座支撑设置在阀体的入口通道末端处，所述阀座镶嵌在所述阀座支撑的底部，所述复位弹簧环套在所述阀座支撑下端，所述密封垫设置在所述阀座支撑顶部，所述膜片设置在所述密封垫上方，所述按钮设置在所述膜片上方，并将所述膜片贴合在所述密封垫上。本实用新型寿命高、制造成本较低，可根据不同的密封面直径，能对应选择不同的出口最大背压差，适用范围广。

技术领域

本实用新型涉及阀门领域，具体涉及一种平衡背压压差的阀头结构。

背景技术

半导体行业的某些特殊气体管路，用户往往期望阀门(截止阀、隔膜阀)能在较高压力下满足介质双向流动。但目前市面上大部分同类阀门，背压压差较小，若高于规定的背压压差数值时，因背压压差无法平衡，过高的压力集中在阀头上，此时背压压差作用在阀头上的力向下，且大于复位弹簧的力，导致拧紧手柄关闭阀门后，即使再拧松手柄，阀门也无法正常开启。

因此，该结构对复位弹簧的力要求极高，且所需要的背压压差越大，复位弹簧的力需求也就越大，而弹簧的力值受到材料、线径、直径、圈数等因素影响。除弹簧材料的选择外，其余的因素均与外形尺寸有关，即相同材质的弹簧，力值越大，所需要的安装空间也越大，因而无法满足半导体行业集成化、小巧化的要求。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提供一种平衡背压压差的阀头结构，包括阀座支撑、复位弹簧、密封垫、膜片、阀座、按钮，所述阀座支撑设置在阀体的入口通道末端处，所述阀座镶嵌在所述阀座支撑的底部，所述复位弹簧环套在所述阀座支撑下端，所述密封垫设置在所述阀座支撑顶部，所述膜片设置在所述密封垫上方，所述按钮设置在所述膜片上方，并将所述膜片贴合在所述密封垫上。

进一步地，所述阀座支撑顶部设置有槽，所述密封垫设置在槽中。

进一步地，所述密封垫为环状或块状。

本实用新型的有益效果在于：

1、同种复位弹簧，根据不同的密封面直径，能对应选择不同的出口最大背压差，适用范围广。

2、非金属对金属密封，有效减少应力集中，提高产品使用寿命。

3、大幅下降对复位弹簧的要求，节省更多的设计空间，满足集成化要求，有效降低制造成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为阀座支撑组件的结构示意图；

图3为阀座支撑组件的另一结构示意图；

图4为阀座支撑组件的又一结构示意图；

图5为阀座支撑组件的再一结构示意图；

图6为本实用新型局部结构示意图，示出了存在背压差的状态；

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

如附图1所示，本实用新型包括阀座支撑12、复位弹簧14、密封垫16、膜片18、阀座22、按钮26，阀座支撑12大致呈圆柱状，其平滑的下端向上连接有径向增大的上端，阀座支撑12被设置在阀体10的入口流道末端，底部镶嵌有阀座22。复位弹簧14环套在阀座支撑12的下端，被阀座支撑12径向增大的上端限定在阀腔内。密封垫16设置在阀座支撑12顶部，膜片18设置在密封垫16上方，膜片18通过上方的按钮26贴合在密封垫16上。按钮26连接执行机构34，执行机构34通过执行螺母28连接在阀体10上。阀座22和密封垫16可采用PCTFE或PFA等材料制造，采用非金属密封，可减少应力集中，提高产品使用寿命。