[实用新型]一种涂胶层质量控制装置

说明书

本实用新型公开了一种涂胶层质量控制装置，包括高度支杆、平行刮片、产品放置旋转平台、真空吸附装置、升降电机、功能设置模块、升降丝杆；所述高度支杆通过第一连接头与升降丝杆的一侧连接，所述升降电机通过第二连接头与升降丝杆的另一侧连接，所述升降电机还与功能设置模块的第一控制输出端连接；所述平行刮片设置于高度支杆的底部；所述真空吸附装置设置有真空气孔，所述产品放置旋转平台的中心置于所述真空气孔的上方，所述真空吸附装置和产品放置旋转平台位于高度支杆下方。能够通过高精度的机械传动以及高精密的量测技术，独立或辅助对涂胶层质量进行修复和控制。并且，该装置可为独立的胶层质量控制装置，也可配合各类涂胶机台进行使用。

技术领域

本实用新型涉及涂胶领域，尤其涉及一种涂胶层质量控制装置。

背景技术

随着科技的进步，时代的发展，高科技产业迅猛发展，各种领域都在大量使用刷胶装置。特别是在半导体及晶圆加工过程中，由于工艺要求或者生产需要，通常要在晶圆表面涂覆一些材料或者胶体，称为涂胶或者刷胶工艺。

现目前各类产品涂胶层的质量控制通过喷胶速度、流量产品转速进行控制，但实际的胶层质量需通过其他量测设备进行检测，当涂胶层出现厚度超标、平整度超标、或是表面气泡的异常时，只能清洗后重新涂胶。因此，当前的涂胶层控制存在以下弊端：1、胶层质量只能通过涂胶机单方面进行控制。2、涂胶产品尺寸、材料单一。3、胶层质量的检测需使用其他量测设备进行测量。

因此，针对上述问题，提供一种涂胶层质量控制装置，是本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种涂胶层质量控制装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

本实用新型的第一方面，提供一种涂胶层质量控制装置，包括高度支杆、平行刮片、产品放置旋转平台、真空吸附装置、升降电机、功能设置模块、升降丝杆；

所述高度支杆通过第一连接头与升降丝杆的一侧连接，所述升降电机通过第二连接头与升降丝杆的另一侧连接，所述升降电机还与功能设置模块的第一控制输出端连接；所述平行刮片设置于高度支杆的底部；

所述真空吸附装置设置有真空气孔，所述产品放置旋转平台的中心置于所述真空气孔的上方，所述真空吸附装置和产品放置旋转平台位于高度支杆下方；所述真空吸附装置还与功能设置模块的第二控制输出端连接，所述产品放置旋转平台还与功能设置模块的第三控制输出端连接。

进一步地，所述功能设置模块包括人机交互单元和控制单元，所述人机交互单元与控制单元连接，所述控制单元的第一控制输出端与升降电机连接，所述控制单元的第二控制输出端与真空吸附装置连接，所述控制单元的第三控制输出端与产品放置旋转平台连接。

进一步地，所述平行刮片底部平整度到达um级。

进一步地，所述平行刮片可拆卸地设置于高度支杆的底部。

进一步地，所述产品放置旋转平台顶部设置有加热板。

进一步地，所述涂胶层质量控制装置还包括电机箱，所述升降电机设置于电机箱内，所述功能设置模块设置于电机箱上。

进一步地，所述产品放置旋转平台的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。

进一步地，所述真空气孔的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。

进一步地，所述平行刮片替换为与功能设置模块连接的厚度/平整度检测装置，所述厚度/平整度检测装置设置于高度支杆底部。

进一步地，所述升降电机、第二连接头、升降丝杆、第一连接头相配合产生的移动精度达到um级。

本实用新型的有益效果是：