[实用新型]一种多源喷雾热解设备

权利要求书

1.一种多源喷雾热解设备，其特征在于，包括加热台、喷涂基板、X轴直线模组、Y轴直线模组，以及一一对应的多个Z轴直线模组和喷枪，其中：

所述X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组均包括滑动配合的固定部分和活动部分，所述X轴直线模组的固定部分沿X轴方向设置，所述Y轴直线模组的固定部分沿Y轴方向设置并与所述X轴直线模组的活动部分固定连接，所述Z轴直线模组的固定部分沿Z轴方向设置，且所有所述Z轴直线模组的固定部分均固定在所述Y轴直线模组的同一活动部分上，或者所有所述Z轴直线模组的固定部分分别固定在所述Y轴直线模组的不同活动部分上，所述Z轴直线模组的活动部分设有万向球，所述Z轴直线模组的活动部分通过所述万向球连接与之对应的所述喷枪；

所述喷涂基板铺设在所述加热台上并位于喷枪下方，以用于承接所有所述喷枪喷出的前驱体溶液。

2.根据权利要求1所述的多源喷雾热解设备，其特征在于，每个所述喷枪各对应有控制器，所述控制器用于按预设喷涂工艺参数控制所述喷枪喷涂驱体溶液。

3.根据权利要求1所述的多源喷雾热解设备，其特征在于，所述Z轴直线模组的活动部分连接有连接杆，所述万向球固定在所述连接杆上。

4.根据权利要求1所述的多源喷雾热解设备，其特征在于，所述X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组各自还包括驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述X轴直线模组、Y轴直线模组、Z轴直线模组中各自的活动部分在对应的固定部分上移动，并使移动速度可调。

5.根据权利要求1至4任一项所述的多源喷雾热解设备，其特征在于，所述设备还包括支撑框架，所述支撑框架用于对所述加热台、喷涂基板、X轴直线模组、Y轴直线模组，以及一一对应的多个Z轴直线模组和喷枪进行支撑安装。

6.根据权利要求5所述的多源喷雾热解设备，其特征在于，所述支撑框架包括设备顶板、设备底座，以及围设于四周的支撑立板，所述加热台固定在所述设备底座上，所述X轴直线模组的固定部分固定安装在所述设备顶板上。