[实用新型]一种高能量高重频高光束质量266nm脉冲固体激光器

权利要求书

1.一种高能量高重频高光束质量266nm脉冲固体激光器，其特征在于，包括：第一LD泵浦源(1)、第一准直透镜(2)、第一聚焦透镜(3)、第一分色镜(4)、激光晶体Nd:YAG(5)、谐振腔前端镜(6)、第二聚焦透镜(7)、第二准直透镜(8)、第二LD泵浦源(9)、谐振腔后端镜(14)、调Q晶体BBO(15)、1064nm 1/4波片(16)、偏振分光棱镜(17)、第三聚焦透镜(18)、LBO晶体(19)、第二分色镜(21)、第三准直透镜(22)、532nm 1/4波片(23)、第三分色镜(24)、四维平移台(25)、高温恒温炉(26)及CLBO晶体(27)，所述谐振腔前端镜(6)和谐振腔后端镜(14)构成谐振腔，所述高温恒温炉(26)设置于所述四维平移台(25)上，所述CLBO晶体(27)置于所述高温恒温炉(26)内，其中：

所述调Q晶体BBO(15)未加1/4波电压时，所述第一LD泵浦源(1)发出的脉冲光依次经过所述第一准直透镜(2)、所述第一聚焦透镜(3)及所述第一分色镜(4)汇聚到所述激光晶体Nd:YAG(5)中；同时所述第二LD泵浦源(9)发出的脉冲光依次经过所述第二准直透镜(8)、所述第二聚焦透镜(7)及所述谐振腔前端镜(6)汇聚到所述激光晶体Nd:YAG(5)中，所述第一LD泵浦源(1)及所述第二LD泵浦源(9)同步脉冲泵浦，所述激光晶体Nd:YAG(5)吸收泵浦光形成粒子数反转，激光能量存储在所述激光晶体Nd:YAG(5)中；

在所述调Q晶体BBO(15)上加1/4波电压，激光能量从所述激光晶体Nd:YAG(5)中释放到所述谐振腔内，当所述调Q晶体BBO(15)上的电压下降后，在所述1064nm 1/4波片(16)和所述偏振分光棱镜(17)的共同作用下，激光从所述偏振分光棱镜(17)的位置释放出来，形成基频1064nm激光巨脉冲；

所述基频1064nm激光巨脉冲经过所述第三聚焦透镜(18)后束腰落到所述LBO晶体(19)中，由于二倍频机理LBO晶体(19)产生532nm激光，未转换成532nm的残余1064nm激光(20)被所述第二分色镜(21)反射掉，所述532nm激光再经过所述第三准直透镜(22)准直后依次经所述532nm 1/4波片(23)及所述第三分色镜(24)进入所述CLB0晶体(27)中，所述CLB0晶体(27)产生266nm激光，未转换成266nm的残余532nm激光经分色镜滤掉，最终获得纯净的266nm激光(30)。

2.如权利要求1所述的高能量高重频高光束质量266nm脉冲固体激光器，其特征在于，所述第一LD泵浦源(1)和所述第二LD泵浦源(9)型号相同，最大功率40～100W，为光纤耦合输出，纤芯直径400um或105um或200um。

3.如权利要求1所述的高能量高重频高光束质量266nm脉冲固体激光器，其特征在于，所述第一准直透镜(2)和第二准直透镜(8)型号相同，焦距为25～100mm；所述第一聚焦透镜(3)和第二聚焦透镜(7)型号相同，焦距为50～100mm。

4.如权利要求1所述的高能量高重频高光束质量266nm脉冲固体激光器，其特征在于，所述第一分色镜(4)45°入射，镀AR@808nm和HR@1064nm膜，1064nm反射率大于99.5％，808nm透过率大于95％；所述第二分色镜(21)45°入射，镀HR@1064nm和AR@532nm,1064nm反射率大于99.5％，532nm透射率大于95％。

5.如权利要求1所述的高能量高重频高光束质量266nm脉冲固体激光器，其特征在于，所述激光晶体Nd:YAG(5)的尺寸为4*4*40mm3，两端面镀AR@8081064nm膜，808nm和1064nm反射率小于0.2％。

6.如权利要求1所述的高能量高重频高光束质量266nm脉冲固体激光器，其特征在于，所述谐振腔前端镜(6)与所述谐振腔后端镜(14)都为平面镜，镀HR@1064nm膜，1064nm反射率大于99.5％。