[实用新型]一种切片装置

权利要求书

1.一种切片装置，其特征在于，包括切片机构（1），切片机构（1）下侧设有多个限位机构（2），切片机构（1）设有上顶机构（3），上顶机构（3）用于晶圆棒下端的支撑以及夹持，并带动晶圆棒在限位机构（2）的导向下向切片机构（1）进给，切片机构（1）用于晶圆盘的切片操作；

切片机构（1）包括分切底板（10），分切底板（10）下侧安装有一对凹形支架（191），分切底板（10）两侧均设有侧板（11），侧板（11）的外壁均安装有一对平移轴承座（12），每对平移轴承座（12）之间均设有多根分切导杆（13），位于一端的平移轴承座（12）均安装有平移电机（14），平移电机（14）的输出轴均连接有平移螺杆（15），平移螺杆（15）均设有平移座（16），平移座（16）外壁均安装有分切轴承座（17），分切轴承座（17）上侧均连接有分切轮（19），其中一个分切轮（19）连接有分切电机（18），分切轮（19）套设有分切绳（190）。

2.根据权利要求1所述的切片装置，其特征在于，分切底板（10）的几何中心处开设有中心孔（100）。

3.根据权利要求1所述的切片装置，其特征在于，分切绳（190）外壁设有多个金刚石。

4.根据权利要求1所述的切片装置，其特征在于，限位机构（2）包括一对限位轴承座（20），限位轴承座（20）之间设有一对连接导柱（21），位于外侧的限位轴承座（20）安装有限位电机，位于内侧的限位轴承座（20）安装于分切底板（10）的下侧，限位电机的输出轴连接有限位丝杆（22），限位丝杆（22）设有限位座（23），限位座（23）向内延伸地设有一对内推杆（24），内推杆（24）的内侧端安装有转动座（26），转动座（26）设有限位轮（27）。

5.根据权利要求1所述的切片装置，其特征在于，上顶机构（3）包括呈竖向分布设置的两对上顶轴承座（30），每对上顶轴承座（30）之间设有多根上顶导杆（31），位于下端的上顶轴承座（30）均安装有上顶电机（32），上顶电机（32）的输出轴均连接有上顶丝杆（33），上顶丝杆（33）均设有上顶座（34），上顶座（34）之间设有上顶盘（35），上顶盘（35）呈对称结构的设有一对外伸板（36），外伸板（36）下侧端部均安装有夹持轴承座（37），夹持轴承座（37）之间设有多根夹持导杆（38），其中一个夹持轴承座（37）安装有夹持电机（39），夹持电机（39）的输出轴连接有夹持丝杆（390），夹持丝杆（390）两端的螺纹旋向相反，夹持丝杆（390）的两端均设有夹持座（391），夹持座（391）的上端均穿于外伸板（36），夹持座（391）的上端均设有夹持件（392）。

6.根据权利要求5所述的切片装置，其特征在于，夹持件（392）呈V形结构，且夹持件（392）的内壁设有软质橡胶垫。