[实用新型]一种半导体机械手升降装置

权利要求书

1.一种半导体机械手升降装置，包括支撑台(1)，其特征在于：所述支撑台(1)的上端固定设置有第一电机(2)与第一升降装置(3)，所述第一电机(2)用于控制所述第一升降装置(3)的升降，所述第一升降装置(3)的上端固定设置有放置盒(4)，所述放置盒(4)的上端固定设置有第二电机(5)与升降套管(6)，所述放置盒(4)与所述升降套管(6)的内部设置有第二升降装置(7)，所述第二电机(5)用于控制所述第二升降装置(7)的升降，所述第二升降装置(7)的上端连接有升降杆(8)，所述升降杆(8)的上端固定设置有气缸(9)，所述气缸(9)的伸缩杆固定连接有连接板(10)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体机械手升降装置，其特征在于：所述第一升降装置(3)包括固定底座(301)与升降底座(302)，所述固定底座(301)的内部设置有双向螺纹杆(303)，所述双向螺纹杆(303)的一端与所述第一电机(2)的输出轴固定连接，所述双向螺纹杆(303)上设置有两个下滑动块(304)，所述下滑动块(304)上分别连接有连接杆(305)，所述连接杆(305)的另一端连接有上滑动块(306)，所述上滑动块(306)套设在固定杆(307)的外端，所述固定杆(307)固定设置在所述升降底座(302)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种半导体机械手升降装置，其特征在于：所述双向螺纹杆(303)上开设有第一螺纹部(3031)与第二螺纹部(3032)，所述第一螺纹部(3031)与所述第二螺纹部(3032)的螺纹旋向相反。

4.根据权利要求1所述的一种半导体机械手升降装置，其特征在于：所述第二升降装置(7)包括第一齿轮副(701)，所述第一齿轮副(701)与所述第二电机(5)的输出轴相连接，所述第一齿轮副(701)上连接有第二齿轮副(702)，所述第二齿轮副(702)内设置有转动螺纹杆(703)，所述转动螺纹杆(703)设置在所述升降套管(6)的内部，所述转动螺纹杆(703)上设置有升降块(704)，所述升降块(704)的上端固定设置有所述升降杆(8)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体机械手升降装置，其特征在于：所述第一齿轮副(701)与所述第二齿轮副(702)分别由两个大小不同的齿轮组成。

6.根据权利要求4所述的一种半导体机械手升降装置，其特征在于：所述转动螺纹杆(703)包括上螺纹部(7031)与下光滑杆部(7032)，所述升降套管(6)的内部在对应于所述下光滑杆部(7032)的位置处设置有支撑块(705)。