[实用新型]一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置

权利要求书

1.一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，其特征在于：包括板块(1)、电机(10)、挤压板(7)、测量圈(3)以及工作台(5)，所述板块(1)的底部通过螺栓(16)连接安装板(15)，所述安装板(15)的底部固定连接电机(10)，所述电机(10)的顶部设有轴杆(11)，所述轴杆(11)的侧面固定连接限位块(12)，所述工作台(5)的底部开设异形孔(13)，所述轴杆(11)和限位块(12)嵌入在异形孔(13)的内部，所述板块(1)的顶部通过粘接的方式连接测量圈(3)，所述测量圈(3)的表面设有刻度条(4)，所述测量圈(3)位于工作台(5)的下方。

2.根据权利要求1所述的一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，其特征在于：所述板块(1)的表面开设安装孔(2)，所述安装孔(2)的数量设有四个。

3.根据权利要求1所述的一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，其特征在于：所述安装板(15)的表面开设穿孔(18)，所述板块(1)的表面开设螺孔(17)，所述穿孔(18)的内部贯穿螺栓(16)，所述螺栓(16)通过螺纹连接在螺孔(17)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，其特征在于：所述板块(1)的表面开设圆孔(14)，所述轴杆(11)位于圆孔(14)的内部，所述圆孔(14)位于安装板(15)的上方。

5.根据权利要求1所述的一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，其特征在于：所述工作台(5)的侧面开设槽口(6)，所述挤压板(7)活动插入在槽口(6)的内部，所述挤压板(7)呈圆形分布形式，所述挤压板(7)的下方设有条形板(9)。

6.根据权利要求5所述的一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，其特征在于：所述工作台(5)的侧面固定连接条形板(9)，所述挤压板(7)的内部通过螺纹活动连接螺纹顶杆(8)，所述螺纹顶杆(8)贴合在条形板(9)的上方。