[实用新型]一种用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置

说明书

本实用新型属于树脂合成纯化技术领域，公开了一种用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置，包括釜体、过滤层、隔膜泵和离子交换树脂柱，釜体包括一进料口和出料口，树脂从进料口进入，从出料口输出，过滤层设置在釜体内部，且将釜体分隔成分别与进料口和出料口连通的第一部分和第二部分，该过滤层用于对第一部分的树脂溶液过滤除杂后输入第二部分，隔膜泵的输入端与釜体的第二部分连通，用于抽取釜体第二部分内的树脂，离子交换树脂柱的输入端与隔膜泵的输出端连接，其输出端与釜体的第一部分连接，用于交换树脂溶液中的金属离子。本实用新型的过滤装置既能去除树脂中的金属离子，又能对树脂中的颗粒性杂质进行过滤，提升树脂的品质。

技术领域

本实用新型属于树脂合成纯化技术领域，具体涉及一种用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置。

背景技术

光刻胶主要由树脂、交联剂、溶剂和助剂组成，其中，树脂作为主要成膜物质决定了涂层的主体性能，半导体制程对光刻胶中的金属离子含量要求非常低，一般低于10ppb以下，由于树脂合成使用的原料与生产过程都会引入金属离子，树脂中金属离子含量也直接影响光刻胶金属离子含量，因此，去除树脂中的金属离子尤为重要。

目前，树脂中的金属离子主要采用离子交换树脂循环去除，但这种方式会从离子交换树脂中带入少量的颗粒性杂质，同时树脂本身也含有一定的颗粒性杂质，这些颗粒性杂质会影响树脂及其产品的品质；因此，提供一种既能去除树脂中金属离子，又能对树脂中颗粒性杂质进行过滤的过滤装置是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

本实用新型的目的是为了解决现有树脂中金属离子去除时会带入颗粒性杂质，影响树脂及其产品品质的问题。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

釜体，该釜体包括一进料口和出料口；

过滤层，该过滤层设置在所述釜体内部，且将所述釜体分隔成分别与所述进料口和出料口连通的第一部分和第二部分，该过滤层用于对所述第一部分的树脂溶液过滤除杂后输入所述第二部分；

隔膜泵，该隔膜泵的输入端与所述釜体的第二部分连通，用于抽取所述第二部分内的树脂；

离子交换树脂柱，其输入端与所述隔膜泵的输出端连接，其输出端与所述釜体的第一部分连接，用于交换树脂溶液中的金属离子；

真空泵，该真空泵与所述釜体的第一部分连接，并用于使所述釜体在进料状态下形成负压；

其中，所述进料口、出料口、真空泵与釜体之间、隔膜泵与釜体之间、离子交换树脂柱与釜体之间设有控制管路开关的阀门，在所述进料状态下，所述隔膜泵与釜体之间、离子交换树脂柱与釜体之间及出料口的阀门关闭，且所述真空泵与釜体之间及进料口的阀门打开。

进一步地，所述釜体包括可分离的上、下釜体，所述下釜体的内壁设有支撑筋，该支撑筋与所述内壁形成支撑槽，所述上釜体设有一朝向所述支撑筋设置的压筋；所述过滤层包括：

滤芯，该滤芯侧面设有第一定位孔；

箍体，所述箍体数量为两个且呈半环状，所述箍体之间一端铰接，另一端通过卡扣连接，并形成环状外壳，所述外壳底端同轴设置一卡置所述滤芯的第一卡槽，该第一卡槽的槽底设有第二定位孔，该第二定位孔与所述第一定位孔同轴设置，所述第一卡槽背离所述滤芯一侧设有卡置所述支撑筋的第二卡槽，该第二卡槽背离所述第一卡槽一侧设有卡置于所述支撑槽内的支撑壁；

复位组件，其包括可伸缩设置于所述支撑壁内且朝向所述支撑槽设置的复位销以及连接在所述复位销与所述支撑壁之间的第一复位弹簧。