[实用新型]一种防溅射液体分布器有效
| 申请号: | 202122657932.1 | 申请日: | 2021-11-02 |
| 公开(公告)号: | CN216172153U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
| 发明(设计)人: | 朱有伟;周军 | 申请(专利权)人: | 无锡市雪浪化工填料有限公司 |
| 主分类号: | B01J4/00 | 分类号: | B01J4/00;B01J19/30;B01J19/32;B01D3/00;B01D53/18;B01D47/14 |
| 代理公司: | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人: | 杨欠欠 |
| 地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 溅射 液体 分布 | ||
1.一种防溅射液体分布器,其特征在于:包括一级主槽(1)和设置在一级主槽(1)下方的若干二级分槽(2);所述一级主槽(1)的底部开设有若干溢流孔(3),所述溢流孔(3)的下方设置有出液头(4);所述二级分槽(2)的侧壁上设置有若干侧壁孔(5);所述二级分槽(2)的底部固定设置有下导流斜板(6),所述下导流斜板(6)的上方设置有上导流斜板(7),所述下导流斜板(6)和上导流斜板(7)相接呈竖向折线状;所述上导流斜板(7)位于所述出液头(4)的一侧,所述出液头(4)的出液口(8)朝靠近所述上导流斜板(7)的一侧斜向下出液。
2.根据权利要求1所述的一种防溅射液体分布器,其特征在于:所述出液头(4)为竖管段(9)和横管段(10)组成的倒T字状,所述横管段(10)的两端朝向所述上导流斜板(7)的一侧分别设置有一个出液口(8);所述上导流斜板(7)的上方设置有两个横向延伸的遮板(11),两个所述遮板(11)间距相隔,所述竖管段(9)对应位于两个遮板(11)之间,所述横管段(10)对应位于两个遮板(11)的下方。
3.根据权利要求2所述的一种防溅射液体分布器,其特征在于:所述出液口(8)的出液方向与竖直方向的夹角大于所述上导流斜板(7)与竖直方向的夹角,沿所述出液口(8)的出液方向的直线与所述上导流斜板(7)的板体相交;所述出液口(8)为横向的狭长孔状。
4.根据权利要求3所述的一种防溅射液体分布器,其特征在于:所述上导流斜板(7)的两端分别与所述二级分槽(2)的两侧内壁固定相连;两个所述遮板(11)分别与所述二级分槽(2)的两侧内壁固定相连。
5.根据权利要求4所述的一种防溅射液体分布器,其特征在于:所述下导流斜板(6)的宽度由上至下逐渐变小,所述下导流斜板(6)的两侧分别与所述二级分槽(2)的两侧内壁间距相隔,且所述下导流斜板(6)的两侧分别设置有挡板(12)。
6.根据权利要求5所述的一种防溅射液体分布器,其特征在于:所述上导流斜板(7)和下导流斜板(6)相接处的水平高度高于所述侧壁孔(5)。
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