[实用新型]一种热电偶及半导体设备

说明书

本实用新型提供了一种热电偶及半导体设备。热电偶包括至少一个导线组和保护套管组，其中，导线组包括并排设置的第一导线和第二导线，所述第一导线和所述第二导线的一端部相互连接而构成连接端，保护套管组包括相互独立的第一保护套管和第二保护套管。导线组中的第一导线和第二导线分别采用相互独立的保护套管而独立保护，使得导线组中的各个导线远离连接端的部分相互独立，减小导线在弯折处裸露出来的部分因受热变形后发生接触的几率，提升热电偶的精确性。在将该热电偶用于半导体设备中时，可有效确保设备内温度保持较高精确性和均匀性，从而有助于提升芯片的质量和性能。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种热电偶及半导体设备。

背景技术

在半导体器件的生产中，使半导体设备内温度保持较高的精确性是获得优质芯片的最基本保证，而温度的精确性依赖于热电偶测温。因此，确保使用的热电偶保持较高的测量精度是非常必要的。

半导体设备内使用的热电偶，因需要配合设备内部的结构进行安装，部分位置处会将热电偶的导线进行弯折布置。现有的热电偶正、负极两根导线套在同一个保护套管内(如图1的a部分所示)，导线在弯折处会有一部分裸露出来(如图1中的b部分所述)。在高温工艺时，导线受热会发生一定的膨胀，弯折处裸露出来的导线因膨胀变形(如图1中的c部分所述)，容易出现正、负极导线相接造成短路的现象(如图1中的d部分所述)，从而导致热电偶测温失效，则导致设备内温度监测失效，后续控温工艺也失效，影响产品良率和质量。

因此，如何优化热电偶的设计，能较好地保护弯折处的导线，是一个需要解决的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种热电偶及半导体设备，以解决现有技术中热电偶导线在弯折处裸露出来的部分因受热变形，易出现正、负极导线相接的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种热电偶，包括：

至少一个导线组，所述导线组包括并排设置的第一导线和第二导线，所述第一导线和所述第二导线的一端部相互连接而构成连接端；保护套管组，包括相互独立的第一保护套管和第二保护套管，所述第一保护套管套设在所述第一导线远离连接端的部分，所述第二保护套管套设在所述第二导线远离连接端的部分。

可选的，所述第一保护套管和第二保护套管均包括多个套管分段，所述多个套管分段依次套设在所述第一导线和所述第二导线上。

可选的，所述套管分段的长度为2.5mm-4.5mm。

可选的，所述第一保护套管的管口和所述第二保护套管的管口均为圆环状或者多边形环状。

可选的，所述第一保护套管的内径比所述第一导线的直径大0.1mm-0.3mm，所述第二保护套管的内径比所述第二导线的直径大0.1mm-0.3mm。

可选的，所述第一保护套管的内径和所述第二保护套管的内径均为0.7mm-0.9mm。

可选的，所述第一保护套管的外径和所述第二保护套管的外径均为1.1mm-1.3mm。

可选的，所述第一保护套管和所述第二保护套管均为陶瓷材质。

可选的，所述第一导线和所述第二导线其中之一的材料为第一铂铑合金，构成正极导线；另一导线的材料为第二铂铑合金或铂，构成负极导线。

可选的，还包括接线盒，所述接线盒具有正极接口和负极接口，所述正极导线电连接至所述正极接口，所述负极导线电连接至所述负极接口。

可选的，还包括绝缘保护管，所述至少一个导线组的连接端及与之连接的部分均安装于所述绝缘保护管内。

可选的，包括多个导线组，各个导线组的连接端在导线的延伸方向上分别位于不同的位置。