[实用新型]散射光场全息三维位移测量装置

权利要求书

1.一种散射光场全息三维位移测量装置，其特征在于，包括激光器(1)、扩束准直单元(2)、第一分光镜(3)、平面镜(4)、第二分光镜(5)、第三分光镜(7)和相机(8)；

扩束准直单元(2)正对激光器的出射口，第一分光镜(3)正对扩束准直单元的激光输出，平面镜(4)位于第一分光镜(3)的反射光路上，第二分光镜(5)位于第一分光镜(3)的透射光路上，第三分光镜(7)位于第二分光镜(5)的反射光路与平面镜(4)的反射光路的交叉位置处，待测物体(6)位于第二分光镜(5)的透射光路上，待测物体(6)将照射在其表面的光反射后由第二分光镜(5)反射，相机(8)位于第三分光镜(7)的合束光路上。

2.根据权利要求1所述的散射光场全息三维位移测量装置，其特征在于，所述扩束准直单元还包括空间滤波模块，所述空间滤波模块对激光器发生的光束进行空间整形。

3.根据权利要求1所述的散射光场全息三维位移测量装置，其特征在于，所述第二分光镜(5)和第三分光镜(7)之间设置有第一成像透镜，在平面镜(4)和第三分光镜(7)之间设置有第二成像透镜。

4.根据权利要求1所述的散射光场全息三维位移测量装置，其特征在于，所述平面镜(4)和第三分光镜(7)之间设置有相移装置。

5.根据权利要求1所述的散射光场全息三维位移测量装置，其特征在于，所述第一分光镜(3)由偏振分光单元替代，偏振分光单元包括偏振分光镜、第一半波片和第二半波片组成，偏振分光镜位于第一分光镜的位置处，第一半波片设置于扩束准直单元(2)和偏振分光镜之间，第二半波片设置于偏振分光镜和平面镜(4)之间。