[实用新型]一种化学气相沉积炉用导气座有效
| 申请号： | 202122626211.4 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN216585202U | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 李志保;裴洋;樊乾国;侯光远;贾武林;杨浩 | 申请（专利权）人： | 西安美兰德新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710600 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 炉用导气座 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口（1）、导气座筒体（2）以及用于与进气软管连接的下连接口（3），其中，所述上连接口（1）和下连接口（3）分别设置在导气座筒体（2）的上下两端。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：所述导气座采用圆钢制成。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：所述上连接口（1）设置在导气座筒体（2）的内壁，上连接口（1）为内管螺纹，内管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：所述下连接口（3）设置在导气座筒体（2）的外壁，且下连接口（3）为外管螺纹，外管螺纹为管螺纹和锥螺纹的其中一组。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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