[实用新型]一种电解法生产NF3

权利要求书

1.一种电解法生产NF₃过程中含镍粉尘的处理装置，其特征在于：包括工作台(1)、鼓风机(2)、除尘室(3)、吸收水池(5)、喷淋机构和抽风机构；除尘室(3)为半密闭空间，除尘室(3)的开放一侧设置有工作台(1)，含镍粉尘的电解槽放置在工作台(1)上；鼓风机(2)位于工作台(1)远离除尘室(3)的一侧，鼓风机(2)提供横向风力将电解槽中的镍粉尘吹向除尘室(3)；除尘室的底部为多孔筛板结构，吸收水池(5)位于多孔筛板的下方；喷淋机构用于向除尘室(3)的顶部靠近工作台(1)处提供雾化水，雾化水吸附除尘室(3)中的粉尘后流入吸收水池(5)中；抽风机构用于抽出除尘室(3)中含有未被吸附粉尘的空气并经过滤收集后排放。

2.如权利要求1所述的一种电解法生产NF₃过程中含镍粉尘的处理装置，其特征在于：所述多孔筛板的筛孔尺寸为8mm-40mm。

3.如权利要求1所述的一种电解法生产NF₃过程中含镍粉尘的处理装置，其特征在于：所述装置还包括吸收水泵(6)和过滤器(7)，吸收水泵(6)的进水口与吸收水池(5)连接，吸收水泵(6)的出水口与过滤器(7)连接，过滤器(7)与喷淋机构连接。

4.如权利要求3所述的一种电解法生产NF₃过程中含镍粉尘的处理装置，其特征在于：所述吸收水泵(6)为离心泵、往复泵或混流泵；所述过滤器(7)包括分子筛吸附填料和目数≤500目的过滤网。

5.如权利要求1所述的一种电解法生产NF₃过程中含镍粉尘的处理装置，其特征在于：所述喷淋机构包括雾化喷头(4)、喷淋水池(8)和喷淋水泵(9)；雾化喷头(4)位于除尘室(3)顶部靠近工作台(1)处，喷淋水池(8)内贮存有水，喷淋水泵(9)的进水口与喷淋水池(8)连接，喷淋水泵(9)的出水口与雾化喷头(4)连接。

6.如权利要求5所述的一种电解法生产NF₃过程中含镍粉尘的处理装置，其特征在于：所述喷淋水泵(9)为离心泵、往复泵或混流泵。

7.如权利要求1所述的一种电解法生产NF₃过程中含镍粉尘的处理装置，其特征在于：所述抽风机构包括除尘器(10)、抽风机(11)和排放塔(12)；除尘器(10)的入口连接于除尘室(3)顶部远离工作台(1)处，除尘器(10)的出口与抽风机(11)的进口连接，抽风机(11)的出口与排放塔(12)连接。

8.如权利要求7所述的一种电解法生产NF₃过程中含镍粉尘的处理装置，其特征在于：所述除尘器(10)还分别与喷淋机构和吸收水池(5)连接，喷淋机构还用于对除尘器(10)进行清洗，清洗后的水进入吸收水池(5)中；优选所述除尘器(10)为布袋式除尘器或静电式除尘器。