[实用新型]电子部件的安装装置

说明书

本实用新型提供一种电子部件的安装装置，其具备：工作台，具有支承工件的支承面；以及与所述工作台对置的加压夹具，所述加压夹具构成为在与所述工作台之间对所述工件的一部分进行加压，并具有与所述支承面对置且使激光光透过的窗部。

相关申请的交叉引用

本申请基于2020年10月28日提交的日本专利申请号2020－180580并主张其优先权，通过引用将其全部内容引入本文。

技术领域

本实用新型的实施方式涉及电子部件的安装装置。

背景技术

一般来说，已知有使用了作为自发光元件的发光二极管(LED：Light EmittingDiode)的LED显示装置，但近年来，作为更高精细化的显示装置，开发有使用了被称作微LED的微小的二极管元件的显示装置。该微LED显示装置与以往的液晶显示装置、有机EL显示装置不同，在显示区域安装并形成有芯片状的多个微LED，因此容易同时实现高精细化与大型化，作为新一代的显示装置而被关注。

作为将芯片状的多个微LED安装于显示区域的方法，已知有利用了激光剥离(LLO：Laser Lift Off)的方法。多个微LED在被安装于显示区域之前形成在蓝宝石基板上。然而，在通过LLO从蓝宝石基板剥离微LED时，在蓝宝石基板产生了翘曲的情况下，有激光光不照射到所希望的位置的隐患。为了消除该隐患，已知有按压蓝宝石基板的整个面而使蓝宝石基板的翘曲平坦化的方法。

实用新型内容

根据本实施方式，提供一种电子部件的安装装置，其特征在于，具备：工作台，具有支承工件的支承面；以及加压夹具，与所述工作台对置，所述加压夹具构成为在与所述工作台之间对所述工件的一部分进行加压，并具有与所述支承面对置且使激光光透过的窗部。

根据本实施方式，提供一种电子部件的安装装置，其特征在于，具备：第一加压夹具；以及第二加压夹具，与所述第一加压夹具对置，所述第一加压夹具构成为在与所述第二加压夹具之间夹持所述工件的一部分，且具有与所述第二加压夹具对置且使激光光透过的窗部。

所述电子部件的安装装置还具备驱动部，该驱动部使所述加压夹具相对于所述支承面沿水平方向移动以及相对于所述支承面沿垂直方向移动。

所述电子部件的安装装置还具备固定夹具，该固定夹具对所述工件的周缘部进行加压而在所述固定夹具与所述工作台之间固定所述工件，所述加压夹具在所述固定夹具的内侧能够移动。

根据本实施方式，提供一种电子部件的安装方法，在电路基板与具备电子部件的晶圆重叠而成的工件之上配置第一加压夹具，利用所述第一加压夹具将所述晶圆的一部分向所述电路基板侧加压，经过所述第一加压夹具的窗部向所述工件照射第一激光光，将所述发光元件接合于所述电路基板，经过所述窗部向所述工件照射具有与所述第一激光光不同的波段的第二激光光，从所述晶圆剥离所述电子部件，使所述第一加压夹具从所述工件分离。

所述电子部件的安装装置还具备驱动部，该驱动部使所述第一加压夹具以及所述第二加压夹具沿水平方向以及垂直方向移动。

所述电子部件的安装装置还具备第一固定夹具和与所述第一固定夹具对置的第二固定夹具，所述第一固定夹具以及所述第二固定夹具夹持所述工件的周缘部而将所述工件固定，所述第一加压夹具在所述第一固定夹具的内侧能够移动，所述第二加压夹具在所述第二固定夹具的内侧能够移动。

所述电子部件的安装装置还具备激光装置，所述激光装置具备射出第一激光光的第一激光光源与射出第二激光光的第二激光光源，所述第一激光光的波段与所述第二激光光的波段不同。

本实施方式能够提供可抑制晶圆以及电路基板的翘曲的影响并将电子部件安装于电路基板的电子部件的安装装置。

附图说明

图1是概略地表示显示装置的构成的立体图。