[实用新型]一种晃动机的支撑结构

说明书

本实用新型公开了一种晃动机的支撑结构，包括丝杆、两个导轨组件和装设于载台底部的支撑件；所述支撑件的一侧与所述导轨组件相互垂直地抵压于所述导轨组件上，并与所述导轨组件传动连接；所述丝杆能够沿纵向依次穿过所述支撑件和载台设置并与所述载台传动连接诶，以带动所述载台和所述支撑件升降；两个所述导轨组件对称设置并分别设置于所述支撑件的一端的两侧。本实用新型通过提高横向支撑面的面积，提高对载台的横向支撑力，进而减小丝杆所承受的横向作用力，延长丝杆使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其是指一种晃动机的支撑结构。

背景技术

伴随IC器件集成度的提高，硅片表面的洁净度对于IC器件获得高性能和高品质起到至关重要的作用，因此硅片清洗也显得尤为重要。目前硅片清洗一般采用湿法腐蚀工艺，而清洗效率和均匀性的提高都需要通过晃动机来实现。现有的晃动机的提篮中部与丝杆传动连接，前端与一根导杆可相对滑动连接，后端与两根导杆可相对滑动连接，以形成前一后二的支撑结构来支撑提篮，但前一后二的支撑结构对于提篮的横向支撑力不足，容易导致提篮前倾，进而当晃动机在长期高频率的使用后，由于提篮前倾，丝杆横向受力，导致丝杆易损坏，使用寿命缩短。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种晃动机的支撑结构，延长晃动机丝杆的使用寿命。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种晃动机的支撑结构，包括丝杆，还包括两个导轨组件和装设于载台底部的支撑件；

所述支撑件的一侧与所述导轨组件相互垂直地抵压于所述导轨组件上，并与所述导轨组件传动连接；

所述丝杆能够沿纵向依次穿过所述支撑件和载台设置并与所述载台传动连接诶，以带动所述载台和所述支撑件升降；

两个所述导轨组件对称设置并分别设置于所述支撑件的一端的两侧。

进一步地，所述支撑件的纵向高度为所述载台的纵向高度的4倍～6倍。

进一步地，所述导轨组件包括导轨本体和滑块；

所述支撑件通过所述滑块与所述导轨本体连接。

进一步地，所述滑块的纵向高度大于所述支撑件的纵向高度。

进一步地，所述支撑件在俯视角度下呈类几字形。

进一步地，所述支撑件通过螺栓与所述导轨组件可拆卸连接。

进一步地，所述载台与所述支撑件可拆卸连接。

本实用新型的有益效果在于：通过设置于支撑件和导轨组件，使支撑件的一侧与导轨组件相互垂直地抵压于导轨组件上，扩大载台横向的受力面积，进而提高载台的横向支撑力，避免载台端部的提篮受力后带动载台前倾，进而减少丝杆的横向受力，避免丝杆变形，延长了丝杆的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型实施例一中晃动机的支撑结构的纵向剖视图；

图2为本实用新型实施例一中晃动机的支撑结构的侧视图；

图3为本实用新型实施例一中晃动机的支撑结构的俯视图。

标号说明：

1、丝杆；2、导轨组件；21、导轨本体；22、滑块；3、载台；4、支撑件；5、提篮。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1-图3，一种晃动机的支撑结构，包括丝杆，还包括两个导轨组件和装设于载台底部的支撑件；