[实用新型]一种承载装置

说明书

一种承载装置，包括用于固定载体的移动件和用于起承载定位作用的承载件，移动件位于承载件的一侧，并且移动件以可相对承载件移动的方式安装在承载件上，以使得移动件能够带动载体运动至或停留在承载件的预设位置。借助移动件与承载件之间所具有的可相对移动的特点，一方面可将半导体工艺设备中的服务器、电器件等功能器件（即：载体）以可移动的方式安装在设备本体内，另一方面可对载体的位置进行调节，如将载体从设备内部抽出等，从而可解除设备内部操作空间的限制，以方便快捷地对载体进行拆装、维护等操作。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种承载装置。

背景技术

在半导体行业中，出于对工艺要求以及成本的考量，半导体工艺设备通常配置有种类繁多的各类功能器件（如用于处理数据的服务器等），并且要求工艺设备整体的外形尺寸应尽量紧凑。因此，相关功能器件通常是固定安装在设备内部的，受设备内部可操作空间有限等因素的影响，在对器件进行拆装维护时普遍存在操作不便、甚至操作困难的问题。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种承载装置，能够方便快捷地对器件进行拆装维护。

一种实施例中提供一种承载装置，包括：

承载件，用于起承载定位作用；以及

移动件，用于固定载体，所述移动件位于所述承载件的一侧，所述移动件以可相对所述承载件移动的方式安装在所述承载件上，所述移动件用于带动载体运动至或停留在所述承载件的预设位置。

一个实施例中，所述移动件与所述承载件中的一者设置有导向滑槽、另一者设置有导向凸起，所述导向滑槽沿预设路径延伸设置，所述导向凸起可滑动地嵌设在所述导向滑槽内，以使得所述移动件能够带动载体沿预设路径运动至停留在所述承载件的预设位置。

一个实施例中，所述导向滑槽与所述导向凸起中的至少一者采用摩擦系数小的塑胶材料制成或表面覆有摩擦系数小的塑胶材料层。

一个实施例中，所述移动件具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面用于面向载体设置，所述第二表面面向所述承载件设置，所述导向滑槽凹陷于所述第二表面与所述承载件的表面中的一者设置，所述导向凸起凸出于所述第二表面与所述承载件的表面中的另一者设置。

一个实施例中，所述导向滑槽采用呈直线走向的闭口式盲槽结构。

一个实施例中，还包括定位结构，用于将所述移动件定位固定在所述承载件上，以使得所述移动件能够停留并保持在所述承载件的预设位置；所述定位结构包括第一条形通孔，所述第一条形通孔贯通所述移动件和/或所述承载件设置，所述第一条形通孔用于锁止件穿过以锁固所述承载件与所述移动件，和用于调节锁止件的位置。

一个实施例中，所述移动件包括：

支承件，用于支承载体，所述支承件位于所述承载件的一侧，并以可相对所述承载件移动的方式安装在所述承载件上；以及

固定件，用于将载体固定在所述支承件上，所述固定件与所述支承件固定。

一个实施例中，所述移动件包括多个所述固定件，多个所述固定件间隔地分布在所述支承件上，以能够从不同位置固定载体。

一个实施例中，所述固定件具有固定结构，所述固定结构包括第二条形通孔，所述第二条形通孔贯通所述固定件设置，用于锁止件穿过以锁固所述固定件与载体，和用于调节锁止件的位置。

一个实施例中，包括多个移动件，所述移动件为长条形，多个所述移动件互为平行且间隔地排布在所述承载件上，以使得所述移动件能够平稳地带动载体运动至或停留在所述承载件的预设位置。