[实用新型]一种气体流量控制器测漏系统有效
| 申请号： | 202122562175.X | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN216210669U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 艾益菊 | 申请（专利权）人： | 济南迪科瑞仪器有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 山东博睿律师事务所 37238 | 代理人： | 颜洪岭 |
| 地址： | 250100 山东省济南市历城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气体 流量 控制器 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体流量控制器测漏系统，其特征在于，包括在供气管路上依次设置的减压阀、气体流量控制器、节流阀、单向阀、反应釜和质量流量计；其中，减压阀连接气源的供气口，质量流量计连接管道的出气口。
2.如权利要求1所述的气体流量控制器测漏系统，其特征在于，所述减压阀选用直动式减压阀。
3.如权利要求1所述的气体流量控制器测漏系统，其特征在于，所述气体流量控制器选用气体涡轮流量计。
4.如权利要求1所述的气体流量控制器测漏系统，其特征在于，所述节流阀选用DVG高压节流阀。
5.如权利要求1所述的气体流量控制器测漏系统，其特征在于，所述单向阀选用RD高压单向阀。
6.如权利要求1所述的气体流量控制器测漏系统，其特征在于，所述质量流量计选用50M质量流量计。
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