[实用新型]一种适用于8英寸晶圆清洗夹具

权利要求书

1.一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，其特征在于，包括夹具内支撑板(1)，所述夹具内支撑板(1)的中部设有贯穿孔(2)，所述夹具内支撑板(1)外周圆周围设有挡板(3)，位于上方的所述挡板(3)围设成用于容纳晶圆(4)的容纳腔，所述夹具内支撑板(1)的上表面等比例排布有多个用于支撑晶圆的螺柱(5)以及多个用于供清洗液流通的通孔(6)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，其特征在于：上方的所述挡板(3)对称设有第一缺口(7)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，其特征在于：下方的所述挡板(3)对称设有第二缺口(8)。

4.根据权利要求3所述的一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，其特征在于：所述夹具内支撑板(1)和挡板(3)的材质为SUS304。

5.根据权利要求4所述的一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，其特征在于：所述螺柱(5)为尼龙材质。

6.根据权利要求5所述的一种适用于8英寸晶圆清洗夹具，其特征在于：还包括用于容纳该清洗夹具的不锈钢水槽(9)，所述不锈钢水槽(9)两侧延伸有提手(10)，所述不锈钢水槽(9)用于放置在超声波机台(11)内。