[实用新型]蒸镀设备

说明书

本实用新型公开一种蒸镀设备，包括蒸镀室、移动组件、多个气缸组件和辊轮组件，蒸镀室内具有蒸镀腔，所有的气缸组件设置在蒸镀室的外侧壁上，用于驱动移动组件移动，移动组件的一部分位于蒸镀腔内用于支撑辊轮组件，气缸组件与移动组件活动连接，气缸组件具有与移动组件连接的连接面，连接面上凸出设置有缓冲弧面，移动组件设置有与缓冲弧面贴合的抵接平面。通过设置缓冲弧面，当不同的气缸组件出现延迟，导致各个气缸组件的驱动速度不一致时，缓冲弧面可以对气缸组件和移动组件提供缓冲，避免气缸组件和移动组件之间发生刚性碰撞，这样不仅可以减少气缸组件和移动组件之间因碰撞出现变形，还可以降低两者因碰撞产生的噪音，改善作业环境。

技术领域

本实用新型涉及面板加工设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备。

背景技术

现有的有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)有机蒸镀镀膜的技术，是利用高精度的遮板作为模具，加热有机材料使其高温挥发后以材料分子状态透过遮板的通孔蒸镀到基板上。

通常使用蒸镀设备对基板进行蒸镀。蒸镀设备包括蒸镀室、移动组件、气缸和多个辊轮，蒸镀室内具有蒸镀腔，蒸镀腔内设置有用于支撑基板的支架，气缸设置在蒸镀室的外侧壁上，用于驱动移动组件移动，移动组件部分位于蒸镀腔内，用于支撑辊轮。蒸镀作业前，将基板放置在辊轮的上方，辊轮转动使基板移动至支架的上方，此时气缸的活塞杆移动使移动组件带动辊轮朝向腔壁移动，使辊轮与基板分离，使基板完全放置在支架上，然后进行蒸镀作业。

由于移动组件的尺寸较大，一组移动组件通常需要两个或两个以上的气缸进行驱动，多气缸驱动会出现以下问题：

1、气缸的移动精度较低，当气缸之间出现误差导致移动延迟时，会拉扯移动组件，导致移动组件与气缸出现碰撞，发出噪声；

2、移动组件和气缸之间的碰撞容易导致移动组件出现变形，从而增大两者之间的间隙，不利于运输基板。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于：提供一种蒸镀设备，其作业期间噪声小，运输平稳。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种蒸镀设备，包括蒸镀室、移动组件、多个气缸组件和辊轮组件，所述蒸镀室内具有蒸镀腔，所有的所述气缸组件设置在所述蒸镀室的外侧壁上，用于驱动所述移动组件移动，所述移动组件的一部分位于所述蒸镀腔内用于支撑所述辊轮组件，所述气缸组件与所述移动组件活动连接，所述气缸组件具有与所述移动组件连接的连接面，所述连接面上凸出设置有缓冲弧面，所述移动组件设置有与所述缓冲弧面贴合的抵接平面。

作为蒸镀设备的一种优选方案，所述气缸组件包括气缸本体和安装架，所述气缸本体通过所述安装架与所述移动组件连接，所述连接面设置在所述安装架上。

作为蒸镀设备的一种优选方案，所述安装架与所述移动组件通过螺钉连接，所述安装架上设置有第一孔，所述移动组件上设置螺纹孔，所述第一孔的尺寸大于所述螺钉的螺杆尺寸，所述第一孔的尺寸小于所述螺钉的螺帽尺寸，所述螺钉穿过所述第一孔旋拧至所述螺纹孔内。

作为蒸镀设备的一种优选方案，多个所述气缸组件沿第一方向间隔布置，所述第一孔为腰型孔，所述第一孔的长度沿所述第一方向延伸。

作为蒸镀设备的一种优选方案，所述缓冲弧面覆盖所述连接面。

作为蒸镀设备的一种优选方案，所述安装架与所述移动组件通过螺钉连接，所述缓冲弧面上设置有第一孔，所述螺钉穿过所述第一孔与所述移动组件螺纹连接。

作为蒸镀设备的一种优选方案，所述缓冲弧面设置在所述连接面的中部区域。

作为蒸镀设备的一种优选方案，所述安装架与所述移动组件通过螺钉连接，所述连接面上设置有第一孔，所述第一孔和所述缓冲弧面位置间隔，所述螺钉穿过所述第一孔与所述移动组件螺纹连接。