[实用新型]一种用于精密仪器的钢结构隔振基座

说明书

本实用新型提供了一种用于精密仪器的钢结构隔振基座，包括面板、支撑板和底座，所述面板由四块宽度一致的不锈钢板焊接成矩形结构制成，所述面板中间设有矩形二次配管线孔，所述支撑板的顶端与面板垂直焊接，所述支撑板的底端与底座垂直焊接，所述底座为两块不锈钢板，所述底座的不锈钢板长度、宽度与面板的矩形长边的不锈钢板长度、宽度一致的。本实用新型的钢结构隔振基座由不锈钢板焊接而成，通过中间开孔与两侧开孔结构，使得管路安装更加方便，且基座结构简单、实用性强，隔微振效果好，防微振等级可达VC‑D级。

技术领域

本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种用于精密仪器的钢结构隔振基座。

背景技术

目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。

传统的钢结构基座由厚钢方管制作的基座框架虽然承载力足够，但防微震能力较差，无法满足半导体设备运行过程中对防微震的要求。另外，在半导体厂和光电厂生产车间中，在设备下方会有很多用于输送液体或气体的管路，而当安装环境中有很多管路时，导致传统的钢结构基座满足不了现场的环境要求。

实用新型内容

实用新型的目的在于提供一种用于精密仪器的钢结构隔振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种用于精密仪器的钢结构隔振基座，包括面板、支撑板和底座，所述面板由四块宽度一致的不锈钢板焊接成矩形结构制成，所述面板中间设有矩形二次配管线孔，所述支撑板的顶端与面板垂直焊接，所述支撑板的底端与底座垂直焊接，所述底座为两块不锈钢板，所述底座的不锈钢板长度、宽度与面板的矩形长边的不锈钢板长度、宽度一致的。

进一步地，所述支撑板的内外两侧还焊接有加强筋，所述加强筋为不锈钢板。

进一步地，所述面板的矩形宽边底部焊接有横梁板，所述横梁板与面板垂直焊接，所述横梁板中间部位开设有U型凹槽，用于二次配管线安装，所述横梁板为钢板。

进一步地，所述横梁板底部焊接有底托板，所述底托板与横梁板垂直焊接，所述横梁板与支撑板的内侧面垂直焊接。

进一步地，所述横梁板内外侧焊接有加强筋，所述加强筋为不锈钢板。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的钢结构隔振基座由不锈钢板焊接而成，通过中间开孔与两侧开孔结构，使得管路安装更加方便，且基座结构简单、实用性强，隔微振效果好，防微振等级可达VC-D级。

附图说明

图1为本实用新型钢结构隔振基座的结构示意图。

图中1-面板，2-支撑板，3-底座，4-横梁板，5-底托板，6-加强筋，7-加强筋，8-二次配管线孔，9-U型凹槽。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，一种用于精密仪器的钢结构隔振基座，包括面板1、支撑板2和底座3，所述面板1由四块宽度一致的不锈钢板焊接成矩形结构制成，所述面板1中间设有矩形二次配管线孔8，所述支撑板2的顶端与面板1垂直焊接，所述支撑板2的底端与底座3垂直焊接，所述底座3为两块不锈钢板，所述底座3的不锈钢板长度、宽度与面板1的矩形长边的不锈钢板长度、宽度一致的。

所述支撑板2的内外两侧还焊接有加强筋6，所述加强筋6为不锈钢板。