[实用新型]一种电子特气合成报警装置

说明书

本实用新型公开了一种电子特气合成报警装置，包括安装板，所述安装板的底部固定连接有收集箱和气泵，所述收集箱的底部固定连接有二号连接管，所述二号连接管的另一端固定连接有轴承座，所述轴承座的另一端固定连接有一号连接管，所述安装板的下方设有环形电动滑轨，所述环形电动滑轨上设有滑道，所述滑道内滑动连接有滑块，所述滑块的底部固定连接有固定板，所述固定板的底部固定连接有连接板。该装置在便于对泄露的硅烷进行吸收的同时并且还能扩大检测与吸收范围，增加了安全性，同时还减少了安装数量，从而减小成本。

技术领域

本实用新型涉及报警装置技术领域，尤其涉及一种电子特气合成报警装置。

背景技术

电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”，在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏，电子特气的产品种类丰富，在集成电路的生产中需要的种类就超过种，而硅烷是电子特气中最重要的品种，它是半导体多晶硅、外延膜生成、硅器件钝化膜、聚硅膜的原料气，在硅烷的生产合成过程中可能发生泄漏，而硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，并且还带有一定的毒性，是它是一种高危险性的气体。

因此在硅烷的合成过程中需要对其进行监测和警报，而现有的警报器大多功能单一，仅仅起到警报作用，并没有对泄露的气体进行吸收等缓减措施，安全性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决背景技术中涉及的现有技术存在的缺点，而提出的一种电子特气合成报警装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种电子特气合成报警装置，包括安装板，所述安装板的底部固定连接有收集箱和气泵，所述收集箱的底部固定连接有二号连接管，所述二号连接管的另一端固定连接有轴承座，所述轴承座的另一端固定连接有一号连接管，所述安装板的下方设有环形电动滑轨，所述环形电动滑轨上设有滑道，所述滑道内滑动连接有滑块，所述滑块的底部固定连接有固定板，所述固定板的底部固定连接有连接板，所述连接板的一侧固定连接有硅烷检测器，所述硅烷检测器一侧设有警报器。

优选的，所述收集箱的顶部固定连接有出气管，且出气管上连接有电磁阀，所述出气管的顶端贯穿安装板并延伸出一部分。

优选的，所述安装板和环形电动滑轨之间固定连接有四个连接杆，所述气泵与收集箱相连接。

优选的，所述一号连接管的一端贯穿连接板并延伸出一部分，所述一号连接管与连接板固定连接。

优选的，所述二号连接管上设有单向阀，所述一号连接管的另一端固定连接有吸气罩。

优选的，所述滑块的圆心与二号连接管的圆心位置相对应，所述收集箱的中心与二号连接管的圆心位置相对应。

本实用新型至少具备以下有益效果：

一种电子特气合成报警装置，设置收集箱、环形电动滑轨、滑块、连接板和一号连接管，便于对泄露的硅烷进行吸收，并且还能扩大检测与吸收范围，检测到硅烷泄露后，气泵开启，使收集箱吸收外部混合有硅烷的空气，与此同时滑块在环形电动滑轨上滑动，从而带动连接板转动，连接板转动会带动硅烷检测器、警报器和一号连接管转动，进而增加硅烷的检测和吸收范围，使装置不仅能起到警报作用，还能增加安全性，并且可以减少装置的安装数量，从而减少成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的侧视图；

图3为本实用新型的俯视图；

图4为本实用新型的仰视图；