[实用新型]一种蒸发舟挡板组件

说明书

本实用新型公开了一种蒸发舟挡板组件，包括环形底板、环形盖板和多个弧形挡板。环形盖板绕自身轴线转动，同时环形盖板带动弧形挡板的第二端沿环形盖板的径向方向滑动，此时弧形挡板的第一端绕与环形底板的连接位置转动，实现多个弧形挡板围成的窗口的尺寸的调节，实现蒸发舟挡板组件对蒸发角度的调节；弧形挡板的第二端沿环形盖板滑动的距离不同，多个弧形挡板围成的窗口的尺寸也就不同，增大了蒸发舟挡板组件窗口的调节范围，增强了蒸发舟挡板组件对蒸镀场景的适应性。

技术领域

本实用新型涉及新能源技术领域，特别涉及一种蒸发舟挡板组件。

背景技术

在半导体制造领域，蒸发镀膜是一种常见的镀膜沉积工艺。

蒸发镀膜设备的挡板能够改善蒸发速率在不同角度的渐变性，以提高蒸发镀膜的均匀性。

现有技术中，蒸发镀膜设备常用的挡板一般为半圆形或者矩形形状的挡板，且个数为两个，两个挡板通过气动装置控制开合，两个挡板只能在特定的方向开合，挡板调节窗口范围小，适应的蒸镀场景有限。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种蒸发舟挡板组件，以增强挡板的窗口的调节范围。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种蒸发舟挡板组件，包括环形底板、环形盖板和多个弧形挡板，

所述环形底板、所述弧形挡板和所述环形盖板自下而上依次设置，

多个所述弧形挡板自下而上依次层叠布置，所述弧形挡板的第一端与所述环形底板转动连接，所述弧形挡板的第二端与所述环形盖板滑动配合，所述弧形挡板的第二端的滑动方向沿所述环形盖板的径向方向，

其中，所述弧形挡板的第一端和所述弧形挡板的第二端分别为所述弧形挡板的所在圆弧的两端，

所述环形盖板与所述环形底板转动配合，所述环形盖板的内圈的直径至少等于所述环形底板的内圈的直径，所述环形盖板绕自身轴线转动同时带动所述弧形挡板的第二端沿所述环形盖板的径向方向滑动以调节多个所述弧形挡板围成的窗口的尺寸，实现蒸发角的调节。

优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述环形盖板上开设有沿所述环形盖板的径向方向的滑槽，所述弧形挡板的第二端设置有滑块，所述环形盖板通过与所述滑槽滑动配合的滑块实现与所述弧形挡板的第二端的滑动配合，所述滑槽的个数与所述弧形挡板的个数相等。

优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述弧形挡板的第一端设置有转动杆，所述环形底板上设置有凹槽，所述弧形挡板通过与所述转动杆配合的凹槽与所述环形底板转动连接，所述凹槽的个数与所述弧形挡板的个数相等。

优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述弧形挡板的宽度至多等于所述环形底板的宽度，所述弧形挡板与所述环形底板同轴布置。

优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述环形盖板的外圈设置有拨杆，所述拨杆用于驱动所述环形盖板绕自身轴线转动。

优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述拨杆与所述环形盖板一体成型。

优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，所述环形底板的外圈设置有限位挡板，所述限位挡板高于所述环形底板的上表面，所述环形盖板位于所述限位挡板围成的圆环内且所述环形盖板的外圈与所述限位板的内壁贴合，

所述限位挡板上开设有限位槽，所述拨杆穿过所述限位槽与所述环形盖板连接，所述限位槽用于对所述拨杆进行沿所述环形底板的周向方向上的限位，用于防止所述拨杆转动过渡导致所述滑块滑出所述滑槽。

优选地，在上述蒸发舟挡板组件中，还包括环形压板，所述环形压板位于所述环形盖板的上方，用于压紧所述环形盖板在所述环形底板上，所述环形压板的内圈的直径至少等于所述环形盖板的内圈的直径，所述环形压板与所述环形底板可拆卸连接。