[实用新型]微机电系统惯性器件的惯性测试装置

权利要求书

1.一种微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，其包括：

离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，所述离心机转轴受控转动；所述离心机样品台固定于所述离心机转轴的一端，由所述离心机转轴带动同步转动；

三轴定位基座，其固定于所述离心机样品台上；

测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，所述测试板可拆卸的固定于所述三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；

上位机，其与所述离心机通信连接，以控制所述离心机转轴转动；所述上位机还与所述测试板通信连接，当所述离心机转轴受控转动时，放置于所述测试板上的所述参考惯性器件和所述若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至所述上位机。

2.根据权利要求1所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，

所述参考惯性器件预知特性曲线；

所述上位机基于其接收到的所述参考惯性器件输出的实际测量的加速度数据来判断当前采集到的待测微机电系统惯性器件的加速度数据的稳定性，以实现对所述待测微机电系统惯性器件加速度数据的可靠筛选。

3.根据权利要求2所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，

所述测试板包括测试顶板和与所述测试顶板相对的测试底板，

所述测试底板用于放置参考惯性器件，所述参考惯性器件与所述测试板电连接；

所述测试顶板用于放置若干待测微机电系统惯性器件，所述若干待测微机电系统惯性器件与所述测试板电连接。

4.根据权利要求3所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，

所述测试板为PCB测试板，其包括PCB测试顶板和PCB测试底板，所述PCB测试顶板和PCB测试底板为分别独立的PCB板，这两块PCB板相互叠置固定在一起合成为所述PCB测试板；或

所述测试板为PCB测试板，其包括PCB测试顶板和PCB测试底板，所述PCB测试顶板和PCB测试底板集成在所述PCB测试板上，所述PCB测试板的顶层面为所述PCB测试顶板，所述PCB测试板的底层面为PCB测试底板。

5.根据权利要求3所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，

所述参考惯性器件固定于所述测试板的测试底板的中心，并和所述离心机转轴的轴心对正；

所述若干待测微机电系统惯性器件固定于所述测试板的测试顶板上，且所述若干待测微机电系统惯性器件靠近所述参考惯性器件的竖直中心线。

6.根据权利要求3所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，

其还包括测试载具，所述测试载具固定于所述测试板的测试顶板上，

所述测试载具用于可拆卸地插接所述待测微机电系统惯性器件，当所述待测微机电系统惯性器件插接在所述测试载具中时，所述待测微机电系统惯性器件和所述测试板产生电连接。