[实用新型]一种FOUP射频读写台

说明书

本实用新型提供一种FOUP射频读写台，包括读写机台、定位开关、传感器、显示屏、RFID读写主板、上位机；读写机台1的上表面安装有定位开关和显示屏，定位开关和显示屏均电连接在上位机上，显示屏设置在靠近人工操作的一侧，传感器位于定位开关的下方并连接在上位机上；读写机台内安装有RFID读写主板，RFID读写主板通过上位机触发读取标签或信息写入标签的动作并将信息通过串口反馈给上位机；本实用新型能够自动解析FOUP类型，进行RF标签的锁定，提供详细的操作信息和异常报警，进行数据追溯和异常问题处理，设备端不会主动发送信息，提高设备端电子的寿命，支持输出标准的接口协议信息，便于第三方系统获取信息。

技术领域

本实用新型主要涉及射频读写台领域，尤其涉及一种FOUP射频读写台。

背景技术

开式晶圆传送盒，也叫FOUP，是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，它在半导体生产过程中至关重要。每个FOUP都有各种连接板，销和孔，以便FOUP位于装载端口上，并由自动物料搬运系统操纵。FOUP也包含RF标签，允许作业人员通过各种工具识别它们。而FOUP中RF标签的初始化信息写入则需要专业的设备进行操作，其要求也非常严格，需要信息读取具有非常高的准确性，设备工业等级高，长持续运行的稳定性和用户交互界面的简洁性。

常见的RF设备读写台通常只能满足对RF标签的读写，不能满足智能工厂建设过程中日益增长的工业化和信息化要求：

1、无法自动解析FOUP类型，需要人为判断，可能造成误判；

2、无法进行RF标签的锁定，会被篡改标签信息；

3、没有详细的操作信息和异常报警，异常发生后无法快速判定异常原因；

4、设备机台持续发送心跳信号，读写软件进行检测，容易操作设备异常后，软件无法有效监控和处理问题；

5、上位机报警和下位机报警不同步，容易增加人员判断问题的难度；

6、无法输出标准的接口协议信息，第三方系统无法获取。

实用新型内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种FOUP射频读写台，包括读写机台1、定位开关2、传感器、显示屏3、RFID读写主板、上位机；

所述读写机台1的上表面安装有定位开关2和显示屏3，所述定位开关2和显示屏3均电连接在上位机上，所述显示屏3设置在靠近人工操作的一侧，所述传感器位于定位开关2的下方并连接在上位机上；

所述读写机台1内安装有RFID读写主板，所述RFID读写主板通过上位机触发读取标签或信息写入标签的动作并将信息通过串口反馈给上位机。

优选的，RFID读写主板上包括单片机和TI芯片，所述TI芯片对RF标签的固定地址位进行锁定操作。

优选的，读写机台1上表面靠近定位开关2的周围设置有通孔4，所述通孔4设置有多个，所述通孔4的位置与待检的FOUP底部的孔位对应。

优选的，定位开关2的俯视状态下呈圆形，所述定位开关2的顶部设置有圆角。

优选的，读写机台1上靠近人工操作的一侧安装有三色灯5，所述三色灯5电连接在上位机上。

优选的，读写机台1上表面的四周设置有限位条6。

优选的，读写机台1的底部四周安装有脚垫7，所述脚垫7通过螺栓调节上下位置。

本实用新型的有益效果：

1、自动解析FOUP类型，无需人为判断，避免误判；

2、能够进行RF标签的锁定，无法篡改标签信息，避免标签更改后信息的丢失和错乱；