[实用新型]一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置有效

专利信息
申请号: 202122405366.5 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN215628278U 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 曹连忠;许立乾;孙舰;巩向泽;巩坤 申请(专利权)人: 山东泰宝包装制品有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/24
代理公司: 淄博诺信专利代理事务所(普通合伙) 37314 代理人: 李鹏
地址: 255000 山东省淄*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 卷绕 真空镀膜 蒸发 保护装置
【说明书】:

实用新型具体涉及一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置,其特征在于,包括第一导电块、第二导电块,第二导电块位于第一导电块的上端面,其两者结合处形成台阶结构,第一导电块和第二导电块分别设有纵向的螺孔和第一通孔,第一导电块的上端还设有带有第二通孔的紧固块,第一通孔内设有与其相匹配的陶瓷绝缘套,陶瓷绝缘套还设有纵向的第三通孔。本实用新型的有益效果是:间接增大钼舟与电极的接触面积,避免两者之间因接触面积小易造成的局部过流致使紧固螺丝出现过流打火现象,保证了钼舟的安全使用和使用寿命。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜装置领域,具体涉及一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置。

背景技术

卷绕式真空镀膜机蒸发系统的蒸发是指利用镀膜材料熔融气化,在被镀物沉积的过程,这一蒸发过程主要是采用电阻加热蒸发方式,它的工作方式是,将钼舟(即蒸发源)安装在两个电极中间,电极通电,电流通过钼舟加热,使输送到钼舟上的镀膜材料熔融气化形成蒸汽,蒸汽沉积到被镀物表面形成铝层,这就是一个完整的真空镀膜过程。在这个镀膜过程中,为了保证蒸发效率,施加给钼舟的电流非常大,因此固定钼舟和固定铜支架的紧固螺栓容易出现过流打火问题,出现过流打火钼舟就会迅速烧坏,造成较大的成本浪费,影响产品质量稳定性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有钼舟紧固方式容易出现过流打火烧坏钼舟的问题,提供一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置,本实用新型改变了钼舟用螺丝紧固的方式直接与电极连接,应用电流传导效果好的导电块连接两者,间接增大钼舟与电极之间的接触面积,防止局部过流,配合绝缘结构,防止紧固螺栓与导电块之间因接触不良造成过流打火。

本实用新型解决其技术问题所采用的方案是:

一种卷绕式真空镀膜机蒸发源保护装置,其特征在于,包括第一导电块、第二导电块,第二导电块的一端位于第一导电块的一端上端面,其两者结合处形成台阶结构,第一导电块和第二导电块分别设有纵向的螺孔和第一通孔,第一导电块的上端还设有带有第二通孔的紧固块,第一通孔内设有与其相匹配的陶瓷绝缘套,陶瓷绝缘套还设有纵向的第三通孔。

通过设置第一导电块及第二导电块作为传导介质分别连接钼舟与电极,因使用时第二导电块与电极接触面积较大,从而间接增大钼舟与电极的接触面积,改变传统钼舟与电极直接进行螺栓连接方式,因其两者之间接触面积小易造成的局部过流,出现过流打火现象而引起的钼舟烧毁。

通过设置陶瓷绝缘套可对第二导电块与其安装时用到的固定螺栓之间起到绝缘保护作用,避免使用时螺栓易出现的过流打火现象。

陶瓷绝缘套采用耐高温陶瓷制作。

进一步的,本实用新型的第一导电块、第二导电块及紧固块材质优选但不限于铜材质。

选用铜材质作为导电机构其具有良好的导电性能。

进一步的,所述陶瓷绝缘套为T型,包括上方的环状部和下方的筒状部,环状部的外径大于第一通孔的内径,环状部位于第二导电块的上端面,筒状部位于第一通孔内,其高度小于第二导电块的高度。

陶瓷绝缘套设为T型使其与第二导电块紧密贴合绝缘效果好,其筒状部的高度小于第二导电块的高度可保证第二导电块与电极充分紧密连接。

进一步的,筒状部小于第二导电块的高度为1mm。

筒状部小于第二导电块的高度为1mm可起到较好的绝缘效果同时使第二导电块与电极充分紧密连接。

本实用新型的有益效果是:结构合理、使用方便。本实用新型间接增大钼舟与电极的接触面积,不会出现过流打火现象,保证了钼舟的安全使用和使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图;

图2为本实用新型导电块的立体结构示意图;

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