[实用新型]一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置

权利要求书

1.一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述自动检测装置包括机架，所述机架内设有厚度检测机构，所述厚度检测机构包括大理石气浮平台、晶圆片承载机构、X轴调节机构、Y轴调节机构、Z轴调节机构、测厚镜头机构；所述大理石气浮平台设于所述机架上，所述大理石气浮平台上设置有厚度检测机构的其余组成部分；所述晶圆片承载机构用于放置待检测的晶圆片；所述测厚镜头机构分别通过所述X轴调节机构、Y轴调节机构和Z轴调节机构实现X轴方向上、Y轴方向上和Z轴方向上的调节；所述X轴调节机构、Y轴调节机构和Z轴调节机构均配备相应的直线电机，并由控制系统根据系统软件自动控制；所述机架底部设有万向轮。

2.如权利要求1所述的一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述晶圆片承载机构包括晶圆片载台、载台支撑座、载台限位架；所述晶圆片载台的下方与所述载台支撑座可拆卸连接；所述载台支撑座的下方设有用于在Z轴方向上调节所述晶圆片载台的载台调节机构，所述载台调节机构包括调节轮和调节丝杆；所述调节丝杆与所述载台支撑座相连。

3.如权利要求1所述的一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述测厚镜头机构包括测厚镜头和镜头固定板；所述镜头固定板与所述Z轴调节机构连接。

4.如权利要求1所述的一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述Z轴调节机构包括Z轴固定板、与所述Z轴固定板相连的Z轴连接板、与所述Z轴连接板相连的Z轴滑槽板、与所述Z轴滑槽板配合且可沿所述Z轴滑槽板在Z轴方向上作直线运动的Z轴滑块；所述Z轴滑块与所述测厚镜头机构相连，带动所述测厚镜头机构在Z轴方向上移动；所述Z轴固定板与所述X轴调节机构相连。

5.如权利要求1所述的一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述X轴调节机构包括X轴横梁、与所述X轴横梁平行设置的X轴滑轨、设于所述X轴横梁上方且可沿所述X轴滑轨在水平面上作直线运动的X轴滑块；所述X轴横梁通过X轴横梁固定架与所述Y轴调节机构相连；所述X轴滑块与所述Z轴调节机构连接，带动所述测厚镜头机构在X轴方向上移动。

6.如权利要求5所述的一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述X轴横梁上的两端分别设有X轴限位块。

7.如权利要求1所述的一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述Y轴调节机构包括两个Y轴横梁、与所述Y轴横梁平行设置的Y轴滑轨、设于所述Y轴横梁上方且可沿所述Y轴滑轨在水平面上作直线运动的Y轴滑块；所述Y轴滑轨与所述大理石气浮平台相连；所述Y轴滑块与所述X轴调节机构相连，带动所述测厚镜头机构在Y轴方向上移动。

8.如权利要求7所述的一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述Y轴横梁上的两端分别设有Y轴限位块。

9.如权利要求1所述的一种陶瓷盘晶圆片自动检测装置，其特征在于：所述自动检测装置的机架内还设有照明灯条和定位相机。