[实用新型]一种单晶硅棒的暂存装置

说明书

本实用新型提供一种单晶硅棒的暂存装置，包括承放硅棒的筒体，在所述筒体内壁设有若干凸台，所述凸台可沿所述筒体壁厚方向调节其凸于所述筒体内壁的高度，以固定所述硅棒尾部并使所述硅棒与所述筒体内壁不接触。本实用新型一种单晶硅棒的暂存装置，优化取晶筒内部结构，可使晶体硅棒不直接与取晶筒的内壁直接接触，提高硅棒尾部的散热，降低硅棒尾部发生裂纹的几率，减少硅棒尾部反切长度；同时还可防止晶体硅棒倾倒，提高其放置的安全性。

技术领域

本实用新型属于单晶硅棒的制造辅助工装技术领域，尤其是涉及一种单晶硅棒的暂存装置。

背景技术

单晶硅棒从单晶炉内取出后需放置在一个暂存装置中，现有制程过程中，常选择取晶筒作为暂存结构，其结构简单且易于挪移。现有放置单晶硅棒的取晶筒为直筒式的结构，硅棒的尾部先进入取晶筒中，由于硅棒的长度较长使得其尾部在放置的过程中容易出现摆动，极易与取晶筒的内壁接触；而硅棒本身重量较重，一旦其与取晶筒内壁接触，冲击力较大，容易撞击取晶筒，而由于硅棒本身较脆，一旦被重力冲击会造成其产生裂纹。

进一步的，在硅棒尾部率先进入取晶筒内，因其晃动的原因造成硅棒的尾部极易与取晶筒内壁接触，而取晶筒的筒壁温度较硅棒本身的温度低很多，从而使得硅棒尾部体面在其与取晶筒接触的同时存在极大的温度差，造成硅棒体面的温度快速向外扩散，使得硅棒表面出现骤冷，导致其接触的位置处很容易出现应力集中，进一步会加速硅棒尾部的裂纹的数量和深度。

还有，在将硅棒从取晶筒取出再放置到送验车上时，为保证硅棒放置的稳定性，一般将硅棒与取晶筒一同被吊走，先将硅棒水平放置在送验车上后再将取晶筒与硅棒分开。但在放置过程中时，硅棒尾部套设的取晶筒极易与硅棒外壁接触，从而会加速硅棒尾部裂纹的产生。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶硅棒的暂存装置，尤其是适用于刚从单晶炉炉体内取出的单晶硅棒的放置，解决了现有技术中单晶硅棒放置在取晶筒时容易与取晶筒内壁接触，导致硅棒尾部容易产生裂纹的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种单晶硅棒的暂存装置，包括承放硅棒的筒体，在所述筒体内壁设有若干凸台，所述凸台可沿所述筒体壁厚方向调节其凸于所述筒体内壁的高度，以固定所述硅棒尾部并使所述硅棒与所述筒体内壁不接触。

进一步的，所述凸台沿所述筒体高度方向设有若干列；

所述凸台垂直于所述筒体壁厚设置，其置于所述筒体内侧一端的端面为平整平面；

并在其置于所述筒体内侧一端还设有保护套。

进一步的，所述凸台置于所述筒体外壁一侧设有调节杆，并在所述调节杆上还设有旋转手柄。

进一步的，在所述筒体内部靠近其上端开口的位置处设有若干垫块，所述垫块沿所述筒体内壁周向均匀设置。

进一步的，所述垫块沿所述筒体高度方向上的位置均高于所有所述凸台的位置，并与所述凸台同列设置或错位设置。

进一步的，所述垫块沿所述筒体壁厚方向上的厚度不大于所述凸台凸于所述筒体内壁面的最短水平高度。

进一步的，所述筒体内壁和底部还设有一层隔离层，所述凸台贯穿所述隔离层设置。

进一步的，在所述筒体下端面设有与其一体连接设置的底座，所述底座为正方形结构，其长度和宽度均不小于所述筒体的外径。

进一步的，在所述筒体外侧还设有与其独立设置的定位组件，包括：

定位台和定位环；

所述定位环高于所述定位台并通过立杆与所述定位台连接于一体；

所述定位环的高度不大于所述筒体高度的1/2；