[实用新型]一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置

权利要求书

1.一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，包括外设有真空泵的主腔体、波纹管、密封盖板、靶托机构、压管机构、泄压触发机构，

所述波纹管一端套设于所述主腔体顶部开口内，另一端外露于所述主腔体，所述密封盖板用于密封所述波纹管另一端开口，所述靶托机构位于所述波纹管下方用于承托靶板，所述压管机构用于下压所述波纹管下端管压口使其与所述靶托机构紧密贴合；

所述泄压触发机构包括分别设置于所述靶托机构上和靶托机构退到出舱位置上的一对常开触点，所述波纹管外露于所述主腔体一端设有泄压开关，所述泄压开关连通一泄压口，所述常开触点闭合触发所述泄压开关打开。

2.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，所述波纹管下端管压口与所述主腔体内顶壁之间连接一弹性件。

3.根据权利要求2所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，所述压管机构包括固定轴、压杆、推杆，所述压杆和推杆传动连接并可绕所述固定轴转动，所述压杆一端抵接所述波纹管下端管压口，所述推杆一端位于所述靶托机构退到出舱位置的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，所述压杆与推杆呈一预设夹角设置，所述预设夹角大于0°，小于180°。

5.根据权利要求4所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，所述预设夹角为100°-120°。

6.根据权利要求4所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，所述密封盖板与所述波纹管上端管口之间、所述波纹管上端管口与所述主腔体顶部开口之间、所述波纹管下端管压口与所述靶托机构之间均设有密封圈进行密封。

7.根据权利要求6所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，所述靶托机构退到出舱位置的一端设有触点机构，所述一对常开触点分别位于所述触点机构端面和主腔体内壁的对应位置上，所述靶托机构移动使触点机构推动推杆，同时压杆下压波纹管下端管压口，靶托机构继续移动到出舱位置，常开触点闭合触发泄压开关开启。

8.根据权利要求7所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，所述泄压开关为电磁阀感应开关。

9.根据权利要求8所述的一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，其特征在于，所述波纹管材质为不锈钢，所述密封圈材质为全氟橡胶或耐高温氟橡胶。