[实用新型]一种用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具有效

专利信息
申请号: 202122311256.2 申请日: 2021-09-24
公开(公告)号: CN216514098U 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 郑敏利;徐梦里;高思远;苏天宇;赵东旭;张全建 申请(专利权)人: 哈尔滨理工大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/50;C23C14/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150080 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 刀具 磁控溅射 镀膜 快速 固定 夹具
【权利要求书】:

1.一种用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具,用于在镀膜设备中对被加工刀具进行快速夹紧固定,并保证掩膜部分与刀具基体高精度紧密贴合,其特征在于,所述快速固定夹具包括:夹具固定板(17)、夹具机架(6)、立式压力调节装置、横向夹紧装置和卧式驱动装置;

所述立式压力调节装置包括立式丝杠(10)和垫圈(22);所述立式丝杠(10)安装于夹具机架(6)上,立式丝杠(10)阶梯端与夹具机架(6)顶部通过阶梯孔(8)相连接,且立式丝杠(10)末端与夹具机架(6)底部通过定位销(20)和圆环(21)固定;

所述横向夹紧装置包括驱动齿条(28)、固定齿条(29)和驱动滑块(3);所述驱动齿条(28)固定在驱动滑块(3)一端的底部,且通过齿条移动啮合对被加工刀具进行位置约束;所述固定齿条(29)固定在夹具机架(6)一端,且夹具机架(6)对应的另一端设有一对半圆柱凹槽(19);

所述卧式驱动装置包括支架(1)和水平丝杠(18);所述水平丝杠(18)安装于支架(1)上,水平丝杠(18)阶梯端与支架(1)右端通过嵌套滚动轴承相连接,水平丝杠(18)设置于支架(1)的两个支撑件之间,且螺纹(30)对称分布在水平丝杠(18)上。

2.根据权利要求1所述的用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具,其特征在于,还包括T形螺母(25)和L形压块(11);所述T形螺母(25)安装在立式丝杠(10)上,与夹具机架(6)侧面始终保持平行约束且在夹具机架(6)上下之间进行垂直移动;所述L形压块(11)安装于T形螺母(25)上,通过沉头螺钉(12)相连接,用于对被加工刀具施加垂直方向的预紧力。

3.根据权利要求1所述的用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具,其特征在于,还包括立方螺母(16)、推板(13)和连杆(14);所述立方螺母(16)成对对称安装于水平丝杠(18)上,以确保两个立方螺母(16)间的往复移动;所述推板(13)与立方螺母(16)之间采用连杆(14)的连接方式,将水平丝杠(18)上立方螺母(16)间往复运动转化为推板(13)的进给运动,用于对被加工刀具施加定向预紧载荷。

4.根据权利要求1所述的用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具,其特征在于,还包括六角螺栓(7)和压板(27);所述六角螺栓(7)安插于夹具机架(6)的左端螺纹孔中,通过六角螺栓(7)的旋转对驱动滑块(3)施加向下载荷,且使得驱动齿条(28)和固定齿条(29)在所需的位置相啮合固定;所述压板(27)设置在驱动滑块(3)和六角螺栓(7)之间,用于压力的传递且使得驱动滑块(3)所受压力均匀。

5.根据权利要求2所述的用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具,其特征在于,所述立式丝杠(10)的驱动单元为驱动手柄(9),为立式丝杠(10)提供给旋转动力;所述L形压块(11)的下面依次设有覆盖板(5)和掩模板(4),用于薄膜热电偶阵列方式的沉积;

所述夹具机架(6)的顶部设有阶梯孔(8),用于立式丝杠(10)的固定;所述夹具机架(6)侧面设置有主刻度尺(23),用于表示立式压力调节位移驱动范围;所述T形螺母(25)上设置有副刻度尺(24),与主刻度尺(23)相对应,用于T形螺母(25)精确定位约束的直观表达。

6.根据权利要求3所述的用于刀具磁控溅射镀膜的快速固定夹具,其特征在于,所述夹具固定板(17)与夹具机架(6)采用两个螺钉通过螺纹孔(15)进行安装固定;所述卧式驱动装置焊接在夹具固定板(17)的一侧面上,且支架(1)始终垂直于夹具固定板(17);所述推板(13)和被加工刀具间安装有从动滑块(2),且推板(13)安置于从动滑块(2)的腔仓(36)中,从动滑块(2)右端底部设有半圆柱凸条(37),用于从动滑块沿着夹具机架上半圆柱凹槽(19)前后移动;

所述立方螺母(16)还设有限位圆柱(31),且立方螺母(16)与连杆(14)通过限位圆柱(31)和插销(32)连接;所述推板(13)还包括支撑圆柱(33)和轴承座(34),轴承座(34)安装于推板(13)一侧面对称分布位置,且连杆(14)和轴承座(34)通过支撑圆柱(33)相连接,用于带动推板(13)向前后移动。

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