[实用新型]双光路玻璃钻孔装置

权利要求书

1.一种双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，包括第一光源、第二光源、光路切换单元、加工单元以及控制单元，所述第一光源、所述第二光源分别具有超快激光器、纳秒激光器，分别用于产生超快激光、纳秒激光，所述光路切换单元设于所述第一光源、所述第二光源的输出端，所述加工单元设于所述光路切换单元的输出端，所述控制单元用于控制所述第一光源、所述第二光源进行切换，以使所述超快激光、所述纳秒激光分别经所述光路切换单元进入所述加工单元，并经所述加工单元出射后对玻璃进行加工。

2.如权利要求1所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，通过所述第一光源、所述第二光源的切换，以使所述超快激光经所述光路切换单元、所述加工单元出射后对玻璃的顶部及底部进行加工，使所述纳秒激光经所述光路切换单元、所述加工单元出射后对玻璃的中部进行加工。

3.如权利要求2所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，所述超快激光通过螺旋线模式或/和同心圆模式对玻璃的顶部及底部进行加工。

4.如权利要求1-3任一项所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，

所述第一光源包括所述超快激光器以及设于其输出端的第一扩束镜，所述第一扩束镜用于对所述超快激光器出射的超快激光进行扩束以及发散角处理；

所述第二光源包括纳秒激光器以及设于其输出端的第二扩束镜，所述第二扩束镜用于对所述纳秒激光器出射的纳秒激光进行扩束以及发散角处理；

所述光路切换单元包括第一反射镜以及设于其输出端的合束镜，并且所述第一反射镜、所述合束镜分别设于所述第一扩束镜的输出端、所述第二扩束镜的输出端；

所述加工单元包括振镜扫描系统以及设于其输出端的远心聚焦场镜，所述振镜扫描系统设于所述合束镜的输出端。

5.如权利要求4所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，所述光路切换单元还包括第二反射镜，所述第二反射镜设于所述合束镜与所述振镜扫描系统之间，所述合束镜出射的激光通过所述第二反射镜的反射后进入所述振镜扫描系统。

6.如权利要求5所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，所述第二反射镜为45°反射镜。

7.如权利要求4所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，所述加工单元还包括对应于所述远心聚焦场镜设置的除尘系统，所述除尘系统用于吸走加工粉尘。

8.如权利要求4所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，所述振镜扫描系统为三维扫描振镜或者二维扫描振镜与单轴运动件的组合体。

9.如权利要求1所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，所述超快激光器、所述纳秒激光器的波长均为501nm-550nm或者1064nm，频率均为100K，功率均为10W。

10.如权利要求1所述的双光路玻璃钻孔装置，其特征在于，所述超快激光器的脉冲宽度为15-50ps，所述纳秒激光器的脉冲宽度为1-10ns。