[实用新型]一种高纯包装容器气密性检测装置

说明书

本实用新型涉及一种高纯包装容器气密性检测装置，包括固定框架，固定框架固定在底座上方，水箱固定在固定框架内部；固定框架的顶部设有多个压板，压板与固定框架紧固连接；进水组件设在水箱顶部前方；排水管设置在水箱底部后方；进水管道一与水箱连通的一端上设有电磁阀，在水箱顶部设有液位传感器；控制器固定在固定框架外侧，进水组件、电磁阀和液位传感器分别与控制器电连接；气体管道设在固定架的前端靠上部，气体管道上设置有多个气路连接管道以及多个分别控制各气路连接管道的阀门。本装置气体管道上设置有多个气路连接管道，实现同时对多个高纯包装容器进行气密性检测，极大地提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及一种气密性检测装置，具体涉及一种高纯包装容器气密性检测装置。

背景技术

高纯电子材料一般储存于金属制的包装容器中，对储存电子材料的包装容器来说很重要的一点就是密封性要求很高，在封装电子材料后要有良好的密封性，要避免包装容器出现泄漏或损坏的情况，一旦泄漏或损坏便会带来严重后果。高纯包装容器在出货前进行检漏时如果发现有泄漏或损坏则需要进行返工处理，势必会造成人力、物力的浪费，而且还会影响内部洁净度，因此，有必要在前端工序处理时对包装容器进行气密性检测，及时发现泄漏或损坏，及时修正。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种在前端工序处理时及时检测包装容器的密封性，不至于包装容器的返工返修的高纯包装容器气密性检测装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种高纯包装容器气密性检测装置，其特征在于：包括底座、固定框架、水箱、储水罐、进水组件、排水管、液位传感器、控制器、压板、气体管道、气压表、气源；

所述固定框架固定在底座上方，所述水箱固定在固定框架内部；所述固定框架的顶部设有多个压板，所述压板与固定框架紧固连接；

所述进水组件设在水箱顶部前方，所述进水组件包括水泵、进水管道一、进水管道二，进水管道一的一端与水泵的输出端密封连接，另一端穿过水箱至所述水箱底部，所述进水管道二的一端与水泵的输入端密封连接，另一端穿过储水罐至储水罐底部；

所述排水管设置在水箱底部后方，所述排水管的一端与所述水箱连通，所述排水管另一端与所述储水罐连通；所述进水管道一与水箱连通的一端上设有电磁阀，在水箱顶部设有液位传感器；所述控制器固定在固定框架外侧，所述进水组件、电磁阀和液位传感器分别与控制器电连接；所述气体管道设在固定架的前端靠上部，气体管道上设置有多个气路连接管道以及多个分别控制各气路连接管道的阀门。

进一步的，所述固定框架顶部的压板与固定框架通过紧固件实现连接，可根据需要实现压板的安装、拆卸。

进一步的，排水管上设置有排水阀门，当放入水槽中的包装容器体积较大时，通过打开排水管阀门可避免水箱内水溢出。

进一步的，所述水箱采用透明质的防爆材料制成，气密性检测时方便观察包装容器的泄漏状况。

进一步的，所述气路连接管道用于连接待检包装容器的一个接头，所述气压表用于连接待检包装容器的另一个接头。

进一步的，所述气路连接管道为软质管道。

进一步的，所述气源为99.999％的高纯气体。

进一步的，所述控制器为PLC控制器。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

1、结构简单、操作方便，水箱外部设有固定框架，既可以对水箱起到保护作用，又可以在万一发生爆炸时防止碎片飞溅保证人员安全。

2、当液位传感器检测到水箱内的水位过高时，便会向控制器发送信号，控制器便会将电磁阀关闭，避免水箱内的水过多而漫出的情况。